[发明专利]一种大口径高压金属软管内壁镀膜装置及方法

权利要求书

1.一种大口径高压金属软管内壁镀膜装置，其特征在于：包括真空腔室、真空检测系统、抽真空系统，真空腔室内部装有三个水平设置的溅射靶源，溅射靶源之间通过三个水平不锈钢管连接，三个水平不锈钢管连接处固定有竖直不锈钢管，竖直不锈钢管上端穿出真空腔室顶壁，真空腔室外部上方设有第一驱动电源、第二驱动电源、第三驱动电源，第一驱动电源、第二驱动电源、第三驱动电源分别通过电源线与三个溅射靶源电连接；真空检测系统安装于真空腔室外侧壁，抽真空系统通过管道与真空腔室底部连通；溅射靶源下方还设有可圆周转动及上下移动的样品转架；

三个所述溅射靶源沿水平圆周120°均匀分布，且可调轴心距。

2.根据权利要求1所述大口径高压金属软管内壁镀膜装置，其特征在于：所述溅射靶源与水平不锈钢管通过密封活结连接。

3.根据权利要求1所述大口径高压金属软管内壁镀膜装置，其特征在于：所述样品转架包括中央转盘、升降转轴，升降转轴为转动螺纹杆，上端与中央转盘底部固定连接，下端与真空腔室底壁螺纹连接。

4.根据权利要求1所述大口径高压金属软管内壁镀膜装置，其特征在于：所述真空腔室还通过管道连接有工作气体系统，工作气体系统与真空腔室之间的管道上设有质量流量计。

5.一种大口径高压金属软管内壁镀膜方法，其特征在于，利用权利要求1-4任一项所述大口径高压金属软管内壁镀膜装置对大口径金属软管内壁进行镀膜。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，包括以下步骤：

⑴将需要内壁沉积薄膜的管件依次经丙酮、无水乙醇在超声波清洗机中各清洗20分钟，之后用氮气吹干放于干净位置；

⑵将准备好的管件置于样品转架的中央转盘上，靶材装设在溅射靶源前端；

⑶启动抽真空系统，将真空腔室抽至目标真空度；

⑷开启真空检测系统、中央转盘，同时质量流量计，并使工作气体系统中的工作气体进入真空腔室，调节真空腔室内气压保持在0.6Pa-1.2Pa范围内；

⑸关闭真空检测系统，开启三个溅射靶源的工作电源，使真空腔室产生辉光放电而溅射出靶材原子，在金属软管内壁进行薄膜沉积；

⑹待沉积薄膜达到设计厚度之后，依次关闭溅射靶源的工作电源、工作气体系统、质量流量计；

⑺待镀件整体温度降低之后，关闭抽真空系统，真空腔室充气，取出管件，镀膜完成。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于：所述靶材为具有耐蚀耐磨性能的金属、非金属或化合物靶材。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于：所述的溅射靶源为磁控靶或多弧靶。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于：所述的工作气体为氩气、氮气中的一种或两种的任意比混合。