[发明专利]一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的设计在审
| 申请号： | 202011008450.7 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN111965955A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 张兴强 | 申请（专利权）人： | 湖北汽车工业学院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 杨采良 |
| 地址： | 442002 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 毛细管 放电 等离子体 耦合 光源 设计 | ||
1.一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的设计，包括毛细管(2)，其特征在于，所述毛细管(2)位于放电室内，所述毛细管(2)呈圆柱形，在毛细管(2)两端均设有电极(3)，毛细管(2)两端的电极(3)与电源(1)相连接形成回路，所述毛细管(2)两端的电极(3)包括高压电极和接地电极，高压电极的长度大于接地电极的长度，高压电极和接地电极通电产生等离子体(4)。
2.根据权利要求1所述的一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的设计，其特征在于，在毛细管(2)内充有工作气体。
3.根据权利要求1或2所述的一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的设计，其特征在于，相邻两个电极(3)之间的间距在3mm-10mm之间可调。
4.根据权利要求1或2所述的一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的设计，其特征在于，高压电极和接地电极之间的放电间距在5mm-15mm之间可调。
5.根据权利要求1或2所述的一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的设计，其特征在于，所述电极(3)由金属钼材料制成。
6.根据权利要求5所述的一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的设计，其特征在于，所述电极(3)的支座通过紫铜制成。
7.根据权利要求6所述的一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的设计，其特征在于，所述放电室由不锈钢材料制成。
8.根据权利要求7所述的一种毛细管放电三束等离子体耦合光源的设计，其特征在于，所述毛细管(2)通过三氧化二铝陶瓷制成。
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