[发明专利]一种基于时频分析的太赫兹厚度检测优化方法有效

专利信息
申请号: 202011008574.5 申请日: 2020-09-23
公开(公告)号: CN112162295B 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 刘永利;朱新勇;郭永玲;王玉建 申请(专利权)人: 青岛青源峰达太赫兹科技有限公司
主分类号: G01S17/14 分类号: G01S17/14;G01S7/48;G06F17/14;G06F17/16;G06F17/18
代理公司: 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 代理人: 付丽丽
地址: 266000 山东省青岛市崂山区九水东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 分析 赫兹 厚度 检测 优化 方法
【权利要求书】:

1.一种基于时频分析的太赫兹厚度检测方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1:通过太赫兹系统采集太赫兹时域脉冲信号,进行简单预处理;

步骤2:时域信号的时频分析,获得时域信号的时频矩阵,令i=1;

步骤3:设置第i反射峰峰值幅度阈值Ti,查找时域信号中的第i反射峰,获取第i反射峰位置Pi,即在太赫兹时域波形图中的横坐标,根据第i反射峰的位置Pi,查询信号时频矩阵对应位置附近瞬时频率特征向量Vi

步骤4:判断Ti是否小于设定值,若否i=i+1,重复步骤3,否则进入下一步;

步骤5:将步骤3-步骤4获取的所有反射峰的位置组成反射峰位置数组Pt,Pt为{P1,……,Pn};

步骤6:计算与第一反射峰对应的瞬时频率特征向量V1与其他反射峰对应的瞬时频率特征向量Vi之间的相似度系数,获取相似度数据,其中i为1,2,…,n,设定相似度筛选阈值Trs,过滤获取有效的峰值检索数组Ptf;

步骤7:比对反射峰位置数组Pt和峰值检索数组Ptf,获取二者交集数据Pi,其为有效峰组;

步骤8:根据以下公式,依次计算各层厚度d,输出厚度数组D

d=t*v*cos(θ)/2,式中,t为不同层反射信号与表层反射信号的相对时延,v为光速,θ为信号入射角度。

2.根据权利要求1中所述的基于时频分析的太赫兹厚度检测方法,其特征在于,步骤6中,相似度系数计算方法为皮尔逊相关系数或曼哈顿距离。

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