[发明专利]一种包覆有金属氧化物层的氟磷酸钒钠电极及其制备方法

权利要求书

1.一种包覆有金属氧化物层的氟磷酸钒钠电极的制备方法，其特征在于，通过原子层沉积法在Na₃V₂(PO₄)₂F₃电极片上沉积金属氧化物层，得到包覆有金属氧化物层的氟磷酸钒钠电极；

包括以下步骤：

1）将Na₃V₂(PO₄)₂F₃电极片放入原子层沉积系统的反应腔中，将所述反应腔的温度调至150～250℃，压力调至20～80Pa；

2）向反应腔中通入金属前驱体和氧源，进行原子层沉积处理，得到所述包覆有金属氧化物层的Na₃V₂(PO₄)₂F₃电极；金属前躯体为四异丙醇钛、三甲基铝或二乙基锌，氧源为双氧水；

步骤1）中，Na₃V₂(PO₄)₂F₃电极片的制备方法为：将Na₃V₂(PO₄)₂F₃、导电炭黑、粘结剂和溶剂混合，球磨、刮涂、烘干后得到Na₃V₂(PO₄)₂F₃电极片；Na₃V₂(PO₄)₂F₃是以NaF、NH₄VO₃和NH₄H₂PO₄为原料，以一水合柠檬酸作为螯合剂，采用溶胶凝胶反应制备得到。

2.根据权利要求1所述的包覆有金属氧化物层的氟磷酸钒钠电极的制备方法，其特征在于，粘结剂为PVDF或CMC，溶剂为NMP或H₂O。

3.根据权利要求1所述的包覆有金属氧化物层的氟磷酸钒钠电极的制备方法，其特征在于，步骤2）中，原子层沉积系统的源瓶温度调至20～90℃。

4.根据权利要求1所述的包覆有金属氧化物层的氟磷酸钒钠电极的制备方法，其特征在于，步骤2）中，原子层沉积处理的过程包括多个循环周期，每个循环周期包含以下步骤：金属前驱体的源瓶由两个阀门控制：第一阀门打开1～3s后关闭，间隔1s，第二阀门打开1～3s后关闭，采用高纯氮气吹拂清洗10～80s，氧源的阀门打开0.1～3s后关闭，间隔1s，高纯氮气吹拂清洗10～80s。