[发明专利]一种解决SMD管壳键合点金铝系统的方法在审

专利信息
申请号: 202011011326.6 申请日: 2020-09-23
公开(公告)号: CN112151400A 公开(公告)日: 2020-12-29
发明(设计)人: 马建军;程梦莲;白艳;郭俊波;刘智慧 申请(专利权)人: 锦州七七七微电子有限责任公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;C23C14/54;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/02
代理公司: 锦州辽西专利事务所(普通合伙) 21225 代理人: 张旭存
地址: 121001 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 解决 smd 管壳 键合点金铝 系统 方法
【说明书】:

一种解决SMD管壳键合点金铝系统的方法,其特征是包含步骤如下:制作铜铝过渡片;在SMD管壳的芯片粘片区和键合点位置分别放置对应尺寸的铅铟银焊料片,在位于芯片粘片区的铅铟银焊料片上放置所需的芯片,在位于键合点的铅铟银焊料片上放置切割好的铜铝过渡片;将SMD管壳与芯片和铜铝过渡片放入共晶焊炉内焊接;焊接结束后通入氮气开始降温冷却,待温度降到70度以下时,打开共晶焊炉腔室门,取出焊接好的器件。该方法解决了SMD管壳键合点铝丝键合时的金铝系统问题;具有稳定性好、重复性好、均匀性好、成品率和可靠性高的特点;工艺合理、操作简单,适合工业化生产,大大提高了军工产品的质量可靠性和使用寿命。

技术领域

发明涉及电子元器件制造领域,特别涉及一种解决SMD管壳键合点金铝系统的方法。

背景技术

近年来,电子元器件作为整机质量可靠性的重要基础资源,其质量可靠性已得到了人们的高度重视。某些特殊用途的整机系统,由于其特殊的工作环境,对电子元器件长期质量可靠性的要求越来越高,越来越严格。电子元器件产品的内引线键合强度失效是半导体分立器件、单片集成电路、混合集成电路等常见的失效模式,是影响整机长期可靠性的主要因素之一。在军用电子元器件制造工艺中,金属外壳的引线键合点通常采用镀Au,键合丝材料一般是Al,Au-Al之间的键合在实际应用中较为普遍。Au-Al间键合点会随着电路工作环境温度的升高、时间的延长以及Al丝电流载荷的增大,其键合强度急剧下降,从而导致电路失效。

我们从电路互连系统的结构以及与键合线材料匹配入手,对原有不满足高可靠要求的键合系统进行了改进,SMD系列管壳键合点都是镀金层。引线互连采用的是金铝键合系统。金和铝接触时会发生两种物理过程:在200℃~250℃下,在金和铝界面处会生成金属化合物,它们是一种很脆的绝缘体,极易使键合断裂。当温度升高到250℃~300℃时,在金和铝界面处,金向铝中大量扩散,形成空洞,在显微镜下可见黑色环形孔,即所谓的科根戴尔效应。大功率器件长时间工作在温度高的环境中,金-铝键合易发生上述两种物理过程,导致铝丝脱焊,使器件失效。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种解决SMD管壳键合点金铝系统的方法,该方法能够解决SMD管壳铝丝键合时的金铝系统问题,提高了军工产品的质量可靠性和使用寿命。

为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:

一种解决SMD管壳键合点金铝系统的方法,包含步骤如下:

1、制作铜铝过渡片

1.1、选择厚度为0.25mm±0.05mm的铜片,放入无水乙醇中超声清洗10~15分钟,去除铜片表面的油污,吹干后备用;

1.2、采用磁控溅射或蒸发工艺在铜片的一面沉积铝层,铝层厚度控制在1~2μm之间;

1.3、按键合点尺寸切割沉积铝层后的铜片,得到与SMD管壳里的键合点大小一致的铜铝过渡片;

2、在SMD管壳的芯片粘片区和键合点位置分别放置对应尺寸的铅铟银焊料片,在位于芯片粘片区的铅铟银焊料片上放置所需的芯片,在位于键合点的铅铟银焊料片上放置切割好的铜铝过渡片;

3、将SMD管壳与芯片和铜铝过渡片放入共晶焊炉内焊接;

3.1、选用共晶焊炉,将摆放好铅铟银焊料片、芯片和铜铝过渡片的SMD管壳一起放入共晶焊炉内;先抽真空,时间为60~100s,使真空度小于5mbar;随后向共晶焊炉内充入氮气,时间为100~120s,控制充氮气量为20slm;如此反复进行二次;

3.2、开始加热,加热时间60s,使炉内温度达到200℃,同时控制充氮气量为10slm;到达200℃后恒温60s,此时通入甲酸,使甲酸分解产生氢气,使共晶焊接质量更好;

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