[发明专利]一种解决SMD管壳键合点金铝系统的方法在审
申请号: | 202011011326.6 | 申请日: | 2020-09-23 |
公开(公告)号: | CN112151400A | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 马建军;程梦莲;白艳;郭俊波;刘智慧 | 申请(专利权)人: | 锦州七七七微电子有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;C23C14/54;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/02 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所(普通合伙) 21225 | 代理人: | 张旭存 |
地址: | 121001 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 解决 smd 管壳 键合点金铝 系统 方法 | ||
一种解决SMD管壳键合点金铝系统的方法,其特征是包含步骤如下:制作铜铝过渡片;在SMD管壳的芯片粘片区和键合点位置分别放置对应尺寸的铅铟银焊料片,在位于芯片粘片区的铅铟银焊料片上放置所需的芯片,在位于键合点的铅铟银焊料片上放置切割好的铜铝过渡片;将SMD管壳与芯片和铜铝过渡片放入共晶焊炉内焊接;焊接结束后通入氮气开始降温冷却,待温度降到70度以下时,打开共晶焊炉腔室门,取出焊接好的器件。该方法解决了SMD管壳键合点铝丝键合时的金铝系统问题;具有稳定性好、重复性好、均匀性好、成品率和可靠性高的特点;工艺合理、操作简单,适合工业化生产,大大提高了军工产品的质量可靠性和使用寿命。
技术领域
本发明涉及电子元器件制造领域,特别涉及一种解决SMD管壳键合点金铝系统的方法。
背景技术
近年来,电子元器件作为整机质量可靠性的重要基础资源,其质量可靠性已得到了人们的高度重视。某些特殊用途的整机系统,由于其特殊的工作环境,对电子元器件长期质量可靠性的要求越来越高,越来越严格。电子元器件产品的内引线键合强度失效是半导体分立器件、单片集成电路、混合集成电路等常见的失效模式,是影响整机长期可靠性的主要因素之一。在军用电子元器件制造工艺中,金属外壳的引线键合点通常采用镀Au,键合丝材料一般是Al,Au-Al之间的键合在实际应用中较为普遍。Au-Al间键合点会随着电路工作环境温度的升高、时间的延长以及Al丝电流载荷的增大,其键合强度急剧下降,从而导致电路失效。
我们从电路互连系统的结构以及与键合线材料匹配入手,对原有不满足高可靠要求的键合系统进行了改进,SMD系列管壳键合点都是镀金层。引线互连采用的是金铝键合系统。金和铝接触时会发生两种物理过程:在200℃~250℃下,在金和铝界面处会生成金属化合物,它们是一种很脆的绝缘体,极易使键合断裂。当温度升高到250℃~300℃时,在金和铝界面处,金向铝中大量扩散,形成空洞,在显微镜下可见黑色环形孔,即所谓的科根戴尔效应。大功率器件长时间工作在温度高的环境中,金-铝键合易发生上述两种物理过程,导致铝丝脱焊,使器件失效。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种解决SMD管壳键合点金铝系统的方法,该方法能够解决SMD管壳铝丝键合时的金铝系统问题,提高了军工产品的质量可靠性和使用寿命。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种解决SMD管壳键合点金铝系统的方法,包含步骤如下:
1、制作铜铝过渡片
1.1、选择厚度为0.25mm±0.05mm的铜片,放入无水乙醇中超声清洗10~15分钟,去除铜片表面的油污,吹干后备用;
1.2、采用磁控溅射或蒸发工艺在铜片的一面沉积铝层,铝层厚度控制在1~2μm之间;
1.3、按键合点尺寸切割沉积铝层后的铜片,得到与SMD管壳里的键合点大小一致的铜铝过渡片;
2、在SMD管壳的芯片粘片区和键合点位置分别放置对应尺寸的铅铟银焊料片,在位于芯片粘片区的铅铟银焊料片上放置所需的芯片,在位于键合点的铅铟银焊料片上放置切割好的铜铝过渡片;
3、将SMD管壳与芯片和铜铝过渡片放入共晶焊炉内焊接;
3.1、选用共晶焊炉,将摆放好铅铟银焊料片、芯片和铜铝过渡片的SMD管壳一起放入共晶焊炉内;先抽真空,时间为60~100s,使真空度小于5mbar;随后向共晶焊炉内充入氮气,时间为100~120s,控制充氮气量为20slm;如此反复进行二次;
3.2、开始加热,加热时间60s,使炉内温度达到200℃,同时控制充氮气量为10slm;到达200℃后恒温60s,此时通入甲酸,使甲酸分解产生氢气,使共晶焊接质量更好;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造