[发明专利]一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管有效
| 申请号： | 202011011400.4 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112144121B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 孙德相 | 申请（专利权）人： | 江苏悦阳光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 | 代理人： | 王小芳 |
| 地址： | 224700 江苏省盐城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 制造 扩散 炉管 | ||
1.一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管，包括炉管（1），所述炉管（1）的内部设置有石英舟（2），所述石英舟（2）上放置有硅片（3），其特征在于：所述石英舟（2）位于炉管（1）的中心，所述炉管（1）的内腔固定套接有进气管（4）和尾气排放管（5），所述尾气排放管（5）位于进气管（4）的侧面，所述进气管（4）和尾气排放管（5）的数量均为两个且相对于炉管（1）的轴线对称分布；
所述进气管（4）的内部设有内管（6），所述进气管（4）和内管（6）的一端均连接有位于炉管（1）首端的进气管道，所述内管（6）远离进气管道的一端开设有出口，所述内管（6）的出口处固定安装有压力阀（10）；
所述进气管（4）和内管（6）之间形成分气道（8），所述进气管（4）的外壁上开设有位于分气道（8）处的进气孔（9），所述进气孔（9）的数量至少有三个，所述进气孔（9）的内径从进气管（4）的进气管道一端向另一端依次递减；
所述尾气排放管（5）的一端连接有位于炉管（1）首端的出气管道，所述尾气排放管（5）的外壁上开设有排气孔（501），所述排气孔（501）的内径从尾气排放管（5）的出气管道的一端向另一端依次递增；
所述内管（6）内设有预热段（601）和缓存段（602），所述预热段（601）和缓存段（602）分别靠近炉管（1）的首端和尾端，所述预热段（601）内设置有螺旋片（7），所述缓存段（602）中可存储气体量为单位时间所有进气孔（9）的进气量之和；
所述缓存段（602）的容积与分气道（8）的容积相同，所述压力阀（10）的开启压力值设置为缓存段（602）中气体充满时对压力阀（10）的压力值。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管，其特征在于：位于炉管（1）内腔上方的所述进气管（4）上的进气孔（9）与下方所述进气管（4）上的进气孔（9）位置交错分布，位于炉管（1）内腔上方的所述进气管（4）、尾气排放管（5）上的进气孔（9）、排气孔（501）的位置分别与下方所述尾气排放管（5）、进气管（4）上的排气孔（501）、进气孔（9）的位置相对应。
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