[发明专利]等离子清洗机在审

专利信息
申请号: 202011013982.X 申请日: 2020-09-23
公开(公告)号: CN112222107A 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 朱霆;叶贤斌;李文强;杨建新;张凯 申请(专利权)人: 深圳泰德半导体装备有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00
代理公司: 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 代理人: 刘冰
地址: 518000 广东省深圳市坪山区龙田街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 等离子 清洗
【说明书】:

发明提出一种等离子清洗机。所述等离子清洗机包括清洗机本体、安装件、夹持治具及调节装置。其中,所述清洗机本体包括控制器;所述安装件安装于所述清洗机本体上;所述夹持治具安装于所述安装件上,所述夹持治具具有夹槽,所述夹槽的宽度可调;所述调节装置安装于所述夹持治具的一侧,所述调节装置与所述控制器电连接,所述调节装置用于调节所述夹槽的宽度。本发明的等离子清洗机,能够提高夹持治具的兼容性,以提高等离子清洗机的适用性。

技术领域

本发明涉及清洗技术领域,特别涉及一种等离子清洗机。

背景技术

等离子清洗机是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。现有等离子清洗机的夹持治具通常为固定结构,只能兼容常规尺寸的基板,不能自动兼容新型尺寸的基板,如果需要兼容新尺寸的基板则需要人工使用扳手将夹持治具更换成另外一个新尺寸的治具,夹持治具的兼容性较低。

因此,有必要提出一种等离子清洗机,以解决上述问题。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种等离子清洗机,旨在提高夹持治具的兼容性,以提高等离子清洗机的适用性。

为实现上述目的,本发明提出一种等离子清洗机,所述等离子清洗机包括清洗机本体、安装件、夹持治具及调节装置。其中,所述清洗机本体包括控制器;所述安装件安装于所述清洗机本体上;所述夹持治具安装于所述安装件上,所述夹持治具具有夹槽,所述夹槽的宽度可调;所述调节装置安装于所述夹持治具的一侧,所述调节装置与所述控制器电连接,所述调节装置用于调节所述夹槽的宽度。

可选地,所述夹持治具包括固定部和活动部,所述固定部固定安装于所述安装件上,所述活动部与所述固定部活动连接,所述固定部和所述活动部之间配合形成所述夹槽,所述调节装置驱动所述活动部沿所述固定部移动以调节所述夹槽的宽度。

可选地,所述固定部包括固定框和固定杆,所述固定杆安装于所述固定框的一侧;所述活动部包括活动框和活动杆,所述活动杆安装于所述活动框的一侧并与所述固定杆安装于所述固定框的一侧相同,所述固定杆与所述活动杆之间形成所述夹槽,所述活动框可活动地安装于所述固定框内,以使得所述夹槽的宽度可调。

可选地,所述固定框包括相对设置的两个固定边框,所述固定杆的两端分别固定安装于两个所述固定边框上,两个所述固定边框之间构造形成有插槽,所述插槽沿所述固定边框的长度方向延伸,所述插槽与所述活动框对应设置,所述活动框可移动地安装于所述插槽内。

可选地,所述夹持治具还包括定位件,所述固定框的其中之一的所述固定边框上构造形成有定位孔,所述定位件穿过所述定位孔与所述活动框抵持。

可选地,所述夹持治具还包括感应片,所述清洗机本体上设有与所述感应片对应的感应器,所述感应器与所述控制器电连接,所述感应器能感应所述感应片的位置,以检测所述夹槽宽度的变化。

可选地,所述固定杆的数量有多个,所述活动杆的数量与所述固定杆的数量相同也有多个,多个所述固定杆与多个所述活动杆依次间隔设置,以形成有多个所述夹槽。

可选地,所述调节装置包括治具调节件、水平位移机构和升降机构,所述治具调节件安装于所述水平位移机构上,所述水平位移机构安装于所述升降机构上,所述治具调节件设于所述安装件的下方,所述安装件呈镂空设置,所述水平位移机构和所述升降机构分别与所述控制器电连接,以使得所述治具调节件能穿过所述安装件而调节所述夹槽的宽度。

可选地,所述水平位移机构包括第一直线模组、水平移动件和第一拖链组件,所述治具调节件安装于所述第一直线模组上,所述第一直线模组安装于所述水平移动件上,所述第一拖链组件与所述水平移动件连接,所述第一直线模组与所述第一拖链组件的移动方向相同,所述第一直线模组和所述第一拖链组件共同驱动所述治具调节件沿水平方向移动。

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