[发明专利]用于超快TEM应用的带有快速消隐器的脉冲式CFE电子源

权利要求书

1.一种带电粒子束（CPB）系统，其包括：

CPB源，其适于产生具有脉冲式CPB分量或连续CPB分量，或者脉冲式CPB分量和连续CPB分量两者的CPB；

CPB透镜，其定位成接收来自所述CPB源的所述CPB；和

CPB控制器，其联接至所述CPB透镜并且被配置为：

通过激励所述CPB透镜以在射束限制孔径处产生扩展的CPB来产生所述连续CPB分量，以使得所述扩展的CPB基本上衰减，或者

通过激励所述CPB透镜产生与所述脉冲式CPB分量相关联的CPB部分，使得至少与所述脉冲式CPB分量相关联的所述CPB部分基本上由所述射束限制孔径透射。

2.根据权利要求1所述的CPB系统，其进一步包括限定所述射束限制孔径的孔径板。

3.根据权利要求1所述的CPB系统，其中所述CPB源包括场发射器。

4.根据权利要求3所述的CPB系统，其中所述场发射器是LaB₆纳米棒。

5.根据权利要求1所述的CPB系统，其中所述CPB源能用于建立所述脉冲式CPB分量的射束电流。

6.根据权利要求3所述的CPB系统，其中所述CPB控制器联接至提取电极、抑制电极或CPB透镜，所述提取电极、抑制电极或CPB透镜能用于建立所述脉冲式CPB分量和所述连续CPB分量中的至少一个的射束电流。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的CPB系统，其进一步包括射束消隐器，所述射束消隐器定位成从所述射束限制孔径接收所述CPB，其中所述CPB控制器能用于激励所述射束消隐器以选择性地使所接收的CPB偏转。

8.根据权利要求7所述的CPB系统，其进一步包括限定消隐孔径的消隐孔径板，其中所述射束消隐器能用于选择性地将所述CPB偏转至所述消隐孔径以阻挡所接收的CPB的至少一部分。

9.根据权利要求7所述的CPB系统，其中所述射束消隐器包括静电偏转器。

10.根据权利要求7所述的CPB系统，其中所述射束消隐器包括RF谐振腔。

11.根据权利要求7所述的CPB系统，其中所述控制器联接至所述CPB透镜，以将所述CPB聚焦在所述射束消隐器处。

12.根据权利要求7所述的CPB系统，其进一步包括X射线屏蔽件，所述X射线屏蔽件围绕CPB射束轴线定位并且限定X射线屏蔽区域，其中所述射束限制孔径位于所述X射线屏蔽区域内。

13.根据权利要求12所述的CPB系统，其中所述CPB源定位成当所述射束消隐器未致动时引导所述CPB被所述消隐孔径阻挡。

14.根据权利要求12所述的CPB系统，其中所述CPB透镜被配置成产生位于所述射束限制孔径与所述消隐孔径之间的CPB焦点。

15.一种CPB方法，其包括：

选择第一CPB射束焦点或第二CPB焦点，其中所述第一CPB焦点定位成基本上衰减所述射束限制孔径处的CPB，并且所述第二CPB焦点定位成使得所述CPB基本上由所述射束限制孔径透射；

在选择所述第一CPB焦点的情况下，激活CPB源以至少产生所述CPB的连续分量，并且将所述连续分量引导至目标；和

在选择所述第二CPB焦点的情况下，至少产生所述CPB的脉冲式分量，并且将所述脉冲式分量引导至所述目标。