[发明专利]晶体单色器水冷结构和晶体单色器

权利要求书

1.一种晶体单色器水冷结构，其特征在于，包括冷却体(1)、冷却体盖板(2)以及冷却水连接结构(3)；

所述冷却体(1)包括冷却体主体(101)，冷却体盖板(2)包括盖板主体(201)，冷却体主体(101)、盖板主体(201)上均设置有环形闭环真空槽(103)、冷却水循环通道槽(102)，冷却体主体(101)、盖板主体(201)连接后，冷却体主体(101)上的环形闭环真空槽(103)与盖板主体(201)上的环形闭环真空槽(103)对应连接形成环形闭环真空通道，冷却体主体(101)上的冷却水循环通道槽(102)与盖板主体(201)上的冷却水循环通道槽(102)对应连接形成冷却水循环通道；冷却水循环通道位于环形闭环真空通道的包围圈内；

所述冷却水连接结构(3)连接冷却体盖板(2)；

所述冷却水循环通道为蛇形，蛇形的两端分别为冷却水进口(104)、冷却水出口(105)；

所 述冷却体盖板(2)上还设置有盖板进水口(202)、盖板出水口(203)、第一盖板抽气孔(204)以及第二盖板抽气孔(205)；

所述盖板进水口(202)、盖板出水口(203)分别连通冷却水进口(104)、冷却水出口(105)；

所述第一盖板抽气孔(204)、第二盖板抽气孔(205)分别连通环形闭环真空通道；

所述盖板进水口(202)与第一盖板抽气孔(204)靠近设置，盖板出水口(203)与第二盖板抽气孔(205)靠近设置；

所述冷却水连接结构(3)包括冷却水管道(301)、抽气口(302)、抽气通道(303)以及连接法兰(304)；

所述冷却水管道(301)连接盖板进水口(202)或盖板出水口(203)，抽气口(302)连通抽气通道(303)，抽气通道(303)连通第一盖板抽气孔(204)或第二盖板抽气孔(205)，连接法兰(304)连接外部供水储水装置和抽气装置；

所述抽气通道(303)环绕设置在冷却水管道(301)周向上且抽气通道(303)与冷却水管道(301)同轴设置；

所述冷却水连接结构(3)包括冷却水进水连接结构和冷却水出水连接结构，冷却水进水连接结构连接盖板进水口(202)和第一盖板抽气孔(204)，冷却水出水连接结构连接盖板出水口(203)第二盖板抽气孔(205)。

2.根据权利要求1所述的晶体单色器水冷结构，其特征在于，所述冷却体(1)与冷却体盖板(2)之间采用焊接连接，所述冷却体盖板(2)与冷却水连接结构(3)之间采用焊接连接。

3.根据权利要求1所述的晶体单色器水冷结构，其特征在于，所述冷却体主体(101)与盖板主体(201)连接的一面长宽尺寸一致。

4.一种晶体单色器，其特征在于，采用权利要求1-3任一项所述的晶体单色器水冷结构，所述晶体单色器水冷结构通过夹具装夹在晶体上。