[发明专利]半导体工艺设备及其控制装置

权利要求书

1.一种半导体工艺设备中的控制装置，其特征在于，包括：控制模块、传输模块、切换模块和多个输入模块，所述切换模块与所述传输模块和多个所述输入模块连接；

所述切换模块用于响应于用户的操作将多个所述输入模块中的一个所述输入模块与所述传输模块导通，并将其他所述输入模块与所述传输模块断开；

所述传输模块还与所述控制模块连接，所述传输模块用于将接收到的所述输入模块的控制信号传输至所述控制模块。

2.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于，多个所述输入模块包括：第一输入模块和第二输入模块；

所述传输模块包括：第一传输子模块和第二传输子模块，所述第一传输子模块与所述第二传输子模块连接；

所述控制模块和所述第一输入模块均与所述第一传输子模块连接，所述第一传输子模块用于将接收到的所述第一输入模块的控制信号传输至所述控制模块；

所述第二输入模块与所述第二传输子模块连接，所述第二传输子模块用于将接收到的所述第二输入模块的控制信号传输至所述第一传输子模块，所述第一传输子模块还用于将接收到的所述第二传输子模块的控制信号传输至所述控制模块。

3.根据权利要求2所述的控制装置，其特征在于，所述切换模块包括：开关控制子模块和开关响应子模块；

所述第一输入模块、所述第一传输子模块和所述开关响应子模块均与所述开关控制子模块连接，所述第二输入模块和所述第二传输子模块均与所述开关响应子模块连接；

所述开关控制子模块用于响应于用户的操作将所述第一输入模块与所述第一传输子模块导通，并控制所述开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块断开；或者，响应于用户的操作将所述第一输入模块与所述第一传输子模块断开，并控制所述开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块导通。

4.根据权利要求3所述的控制装置，其特征在于，所述开关控制子模块包括双刀双掷开关，所述开关响应子模块包括继电器，所述双刀双掷开关包括第一开关单元和第二开关单元，所述继电器包括响应单元和第三开关单元；

所述第一开关单元串联在所述第一输入模块与所述第一传输子模块之间，所述第二开关单元和所述响应单元串联在第一电压端和第二电压端之间，所述第三开关单元串联在所述第二输入模块与所述第二传输子模块之间；

其中，当所述第一开关单元导通时，所述第二开关单元断开，当所述第一开关单元断开时，所述第二开关单元导通；所述响应单元在所述第二开关单元导通，所述第一电压端和所述第二电压端之间形成导电通路时，控制所述第三开关单元导通，在所述第二开关单元断开，所述第一电压端和所述第二电压端之间断路时，控制所述第三开关单元断开。

5.根据权利要求2所述的控制装置，其特征在于，所述切换模块包括：开关控制子模块、第一开关响应子模块和第二开关响应子模块，所述第一输入模块和所述第一传输子模块均与所述第一开关响应子模块连接，所述第二输入模块和所述第二传输子模块均与所述第二开关响应子模块连接，所述第一开关响应子模块和所述第二开关响应子模块均与所述开关控制子模块连接；

所述开关控制子模块用于响应于用户的操作控制所述第一开关响应子模块将所述第一输入模块与所述第一传输子模块导通，并控制所述第二开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块断开；或者，响应于用户的操作控制所述第一开关响应子模块将所述第一输入模块与所述第一传输子模块断开，并控制所述第二开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块导通。