[发明专利]一种硅片翻转输送系统及输送方法

权利要求书

1.一种硅片翻转输送系统，其特征在于：包括沿第一方向设置的上料装置、翻转装置和下料装置；所述上料装置包括上料输送轨道和叠放机构，所述翻转装置包括第一缓冲轨道、翻转机构和第二缓冲轨道，所述下料装置包括下料输送轨道和抽放机构；所述叠放机构位于所述上料输送轨道和第一缓冲轨道之间，所述翻转机构位于所述第一缓冲轨道和第二缓冲轨道之间，所述抽放机构设置在所述第二缓冲轨道和下料输送轨道之间；

所述翻转输送系统被配置为：硅片被上料输送轨道沿第一方向上输送至所述叠放机构处后，所述叠放机构将所述硅片堆叠放置在花篮中；所述第一缓冲轨道将装载有所述硅片的花篮从所述叠放机构中输送至所述翻转机构处后，所述翻转机构将装载有所述硅片的花篮翻转并放置在所述第二缓冲轨道上；所述第二缓冲轨道将装载有所述硅片的花篮输送至抽放机构内后，所述抽放机构将装载有所述硅片的花篮里的硅片依次抽出并放置在所述下料输送轨道上。

2.根据权利要求1所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于：所述翻转机构包括沿第二方向设置有翻转轴，以及连接在所述翻转轴上的安装部，所述安装部上相对地连接有两个固定臂；所述花篮上设置有与所述固定臂相配合的固定槽。

3.根据权利要求2所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于：所述花篮包括上框体和下框体，以及连接在所述上框体和下框体之间的两个连接板，所述连接板上设置有若干沿第三方向排布的硅片放置槽；所述上框体和下框体的边沿突出于所述连接板外侧壁设置，以使所述上框体、下框体和连接板之间形成所述的固定槽。

4.根据权利要求3所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于：所述安装部上设置有花篮护臂，所述花篮护臂包括压紧板和顶升驱动件，所述压紧板能够在所述顶升驱动件的驱动下沿第三方向移动，以驱使所述上框体/下框体与所述固定臂压紧。

5.根据权利要求2所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于：所述第一缓冲轨道与翻转机构之间设置有第一传递轨道，所述第二缓冲轨道与翻转机构之间设置有第二传递轨道；所述安装部的板面与第一方向垂直时，所述固定臂在第一方向上至少部分与所述第一传递轨道重叠，或者在第一方向上至少部分与第二传递轨道重叠。

6.根据权利要求5所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于：所述第一传递轨道和第二传递轨道在第三方向上的位置相同。

7.根据权利要求1所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于：所述上料输送轨道包括两个平行设置的上料传送带，所述上料传送带上设置间隔设置有若干个第一定位件和第二定位件，相邻所述第一定位件和第二定位件之间形成为硅片放置位；和/或，

所述下料输送轨道包括两个平行设置的下料传送带，所述下料传送带上设置间隔设置有若干个第一定位件和第二定位件，相邻所述第一定位件和第二定位件之间形成为硅片放置位。

8.根据权利要求7所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于：所述第一定位件包括连接部，所述连接部上设置有斜面，所述斜面上设置有定位凸起；所述第二定位件与所述第一定位件结构相同，且所述第一定位件与所述第二定位件镜像设置。

9.根据权利要求7所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于：所述上料输送轨道在靠近所述叠放机构的一端形成有上料端口，所述叠放机构的输入轨道靠近所述上料输送轨道的一端伸入设置所述上料端口内；和/或，

所述下料输送轨道在靠近所述抽放机构的一端形成有下料端口，所述叠放机构的输出轨道靠近所述下料输送轨道的一端伸入设置所述下料端口内。

10.根据权利要求1或9所述一种硅片翻转输送系统，其特征在于：所述叠放机构包括第一升降件和输入轨道，所述第一升降件用于驱使所述花篮移动，以使所述花篮的多个硅片放置槽分别在第三方向上与所述输入轨道位置对应；

所述抽放机构包括第二升降件和输出轨道，所述第二升降件用于驱使所述花篮移动，以使所述花篮的多个硅片放置槽分别在第三方向上与所述输出轨道位置对应。

11.利用权利要求1～10中任一项所述的翻转输送系统对硅片进行输送的方法，其特征在于：包括以下步骤，

步骤1、硅片被上料输送轨道沿第一方向上输送至所述叠放机构处后，所述叠放机构将所述硅片堆叠放置在花篮中；

步骤2、所述第一缓冲轨道将装载有所述硅片的花篮从所述叠放机构中输送至所述翻转机构处后，所述翻转机构将装载有所述硅片的花篮翻转并放置在所述第二缓冲轨道上；

步骤3、所述第二缓冲轨道将装载有所述硅片的花篮输送至抽放机构内后，所述抽放机构将装载有所述硅片的花篮里的硅片依次抽出并放置在所述下料输送轨道上；

步骤4、所述硅片被下料输送轨道输送至下游工序。