[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，对基板进行清洗处理，其中，

包括：

分度器区，具有：容纳架载置部，载置容纳多张基板的容纳架，分度器机械手，与所述容纳架载置部的所述容纳架之间搬运基板；

处理区，作为处理单元，具有进行基板的表面清洗处理的表面清洗单元以及进行基板的背面清洗处理的背面清洗单元；以及

翻转路径区，配置在所述分度器区和所述处理区之间，具有载置基板的多层搁板，并且具有使基板的表面和背面翻转的翻转功能，

所述分度器机械手具有：导轨，水平方向的位置被固定且立设；基台部，沿着所述导轨升降移动；多关节臂，配置于所述基台部；以及手部，在所述多关节臂的顶端部侧的臂上支撑基板，

从所述容纳架载置部侧观察，所述导轨配置于不与所述翻转路径区中的基板的载置位置重叠的位置，并且配置于所述翻转路径区侧的内壁侧，

在俯视时，所述导轨配置于从连结所述载置位置的中央和所述分度器区的中央的虚拟线向侧方偏移的位置，

所述分度器区在水平方向上具有多个所述容纳架载置部，

所述基台部具有基台部主体和从所述基台部主体向所述容纳架载置部侧延伸的固定臂，

所述分度器机械手在所述固定臂的顶端侧具有所述多关节臂的基端部，

所述固定臂的顶端部位于配置有各个所述容纳架载置部的水平方向的中央且位于相比所述导轨更靠近所述容纳架载置部侧，

所述手部在所述翻转路径区载置基板时与所述固定臂以及所述基台部都不发生干扰，并且所述手部能够进入多个所述容纳架载置部中的任意一个。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，

从所述容纳架载置部侧观察，所述多关节臂中的第一关节的旋转轴从所述导轨向所述载置位置侧偏移配置。

3.如权利要求1或2所述的基板处理装置，其中，

所述手部具有多个用于支撑基板的手部主体。