[发明专利]一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备和方法

权利要求书

1.一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，其特征在于：包括抛光装置、化学处理装置和样品转移装置；所述抛光装置主要由传送带、抛光棒和样品固定装置组成，所述样品固定装置和抛光棒设置在所述传送带上方。

2.根据权利要求1所述的用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，其特征在于：所述的抛光棒与液压装置连接，通过液压装置控制其抛光压力。

3.根据权利要求1所述的用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，其特征在于：所述化学处理装置包括多个处理容器；所述处理容器内盛装化学试剂。

4.根据权利要求1所述的用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，其特征在于：还包括喷砂装置，所述喷砂装置用于对化学处理后的样品表面进行喷砂处理。

5.根据权利要求1-4任一项所述的用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，其特征在于：所述的样品转移装置包括样品托盘及电动导轨；所述样品托盘与电动导轨连接，在电动导轨的带动下，将样品送入不同的处理容器内进行处理。

6.根据权利要求1-4任一项所述的用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，其特征在于：所述的样品转移装置还包括机械臂，所述机械臂用于在抛光装置、化学处理装置、喷砂装置之间转移样品。

7.一种对硼掺杂金刚石基底表面处理的方法，其特征在于，包括：

将基底铌片进行抛光处理；

将抛光处理后的铌片进行化学处理；

将化学处理完的铌片进行喷砂处理。

8.根据权利要求8所述的对硼掺杂金刚石基底表面处理的方法，其特征在于，所述的化学处理包括：

采用氢氟酸：盐酸：水 =1：5：1对铌片进行酸处理3min～15min；

将酸处理后的铌片放入超纯水中清洗5～10分钟；

将清洗完的铌片放入酒精溶液中处理5～10分钟。

9.根据权利要求7或8所述的对硼掺杂金刚石基底表面处理的方法，其特征在于，所述的喷砂处理包括：采用300～500目刚玉，喷嘴角度30～45°，喷砂时间2～5min/cm²。

10.根据权利要求9所述的对硼掺杂金刚石基底表面处理的方法，其特征在于：对回收的基底铌片抛光之前先进行高温处理：马弗炉，大气条件下，600～800℃，处理时间30min～60min。