[发明专利]生物感测器及其形成方法

说明书

提供一种生物感测器。此生物感测器包含基底、多个光电二极管、多个像素化滤光片、激发光阻挡层和固定层。基底具有多个像素。光电二极管设置于基底中且分别对应至像素中的一者。像素化滤光片设置于基底上。激发光阻挡层设置于像素化滤光片上。固定层设置于激发光阻挡层上。

技术领域

本发明实施例涉及一种生物感测器，特别涉及一种具有像素化滤光片的生物感测器。

背景技术

在现有技术中，生物感测器通常使用一种光学滤光片来阻挡激发光且使发射光进入感测像素。光学滤光片可为有机滤光片，其对入射光角度不敏感并且易于图案化。然而，有机滤光片通常也会因为紫外光或可见光激发而产生强荧光，而干扰待测样品信号分辨率。有机滤光片的穿透光谱频宽较广且可供利用的光谱选择性少。另外，其附着力和化学或机械耐性等制程相容性，不如其他种类的滤光片。

光学滤光片也可为介电干涉滤光片，其经由紫外光或可见光激发时，仅产生微弱的荧光或不产生荧光。且可根据待测信号光波段所需的频谱，来调整介电干涉滤光片中各膜层堆叠厚度，轻易地达到通带和阻带波段需求。然而，介电干涉滤光片的穿透光谱对入射光角度敏感，且难以被像素化(使邻近像素上的滤光片带有不同的通带与阻带频谱)。因此，需要一种新颖的生物感测器。

发明内容

根据本公开的一些实施例，提供一种生物感测器。此生物感测器包含基底、多个光电二极管、多个像素化滤光片、激发光阻挡层和固定层。基底具有多个像素。光电二极管设置于基底中且分别对应至像素中的一者。像素化滤光片设置于基底上。激发光阻挡层设置于像素化滤光片上。固定层设置于激发光阻挡层上。

根据本公开的一些实施例，提供一种生物感测器的形成方法。此方法包含：提供具有多个像素的基底；形成多个光电二极管于基底中，其中光电二极管中的每一者都分别对应至像素中的一者；形成多个像素化滤光片于基底上；形成激发光阻挡层于像素化滤光片上；以及形成固定层于激发光阻挡层上。

在以下实施例中参考附图给予实施方式。

附图说明

通过阅读后续的实施方式和范例并参考附图，可更完全地理解本发明，

其中：

图1根据本公开的一些实施例示出生物感测器100的俯视图。

图2A-图2G根据本公开的一些实施例示出形成图1的生物感测器100的各阶段的沿线A-A’的剖面图。

图3A-图3E根据本公开的一些实施例示出形成生物感测器200的各阶段的剖面图。

图4A-图4C根据本公开的一些实施例示出形成生物感测器300的各阶段的剖面图。

图5A-图5D根据本公开的一些实施例示出形成生物感测器400的各阶段的剖面图。

图6A-图6C根据本公开的一些实施例示出形成生物感测器的各阶段的剖面图。

图7A-图7C根据本公开的一些实施例示出形成生物感测器的各阶段的剖面图。

图8A-图8B根据本公开的一些实施例示出形成生物感测器的各阶段的剖面图。

图9A示出生物感测器上的分析物的排列。

图9B示出图9A沿线A-A’的剖面图。

图9C根据本公开的另一些实施例示出图9A沿线A-A’的剖面图。

图9D根据本公开的另一些实施例示出生物感测器的剖面图。

图9E根据本公开的一些实施例示出生物感测器上的分析物的排列的俯视图。

图9F-图9I根据本公开的一些实施例示出图9E沿线A-A’的剖面图。