[发明专利]一种耐高温基片夹具

权利要求书

1.一种耐高温基片夹具，其特征在于：包括由左、右立柱和上、下横梁连成一个整体的框架，在上、下横梁上分别设置有用于装载基片的卡槽，在左、右立柱分别设置有翻板机构，所述翻板机构包括固定在左立柱/右立柱上的固定座，所述固定座上通过销轴转动连接有压板，在左立柱/右立柱上嵌入安装有耐高温磁铁，所述压板与耐高温磁铁相对应部位为能被磁铁吸引的金属材质，压板与基片接触部位为PEEK材质。

2.如权利要求1所述的一种耐高温基片夹具，其特征在于：所述左、右立柱和上、下横梁的材质为钛合金。

3.如权利要求1所述的一种耐高温基片夹具，其特征在于：所述卡槽的材质为PEEK材质。

4.如权利要求1所述的一种耐高温基片夹具，其特征在于：所述翻板机构设置有四个，分别对称设置在左、右立柱的上、下部。

5.如权利要求1-4任意一项所述的一种耐高温基片夹具，其特征在于：在左、右立柱之间连接有多根中间连杆，所述中间连杆上套有多个隔套。

6.如权利要求5所述的一种耐高温基片夹具，其特征在于：所述隔套为PEEK材质。