[发明专利]一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置

说明书

本发明公开了一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置，包括固定板、拉伸气缸、活动杆、活动板，所述固定板固定在真空室抽气口处，在固定板上沿垂直方向设置有多个开口，所述拉伸气缸固定在真空室抽气口的顶板上，拉伸气缸的活塞杆端通过连接套与活动杆连接，所述活动杆延伸至真空室抽气口内，在活动杆上固定有多块活动板，所述活动板与固定板上的开口相匹配，拉伸气缸通过活动杆带动活动板上下移动，从而实现对固定板上的开口的封闭和开启。本发明的用于真空镀膜设备的简易格栅装置结构简单、拆卸方便、能耐高温、加工便捷、成本低廉，易损备件都是常规产品，有效降低了生产成本和提高了运行效率。

技术领域

本发明涉及真空镀膜机的技术领域，尤其是涉及一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置。

背景技术

真空镀膜机是一种在真空密闭环境中对产品表面进行镀膜的设备，真空镀膜机包括：充气系统、镀膜部与抽气系统 ,充气系统设置在镀膜部的一侧，用于对镀膜部内部空间进行充气，抽气系统设置在镀膜部的另一侧，用于将存在于镀膜部内部空间中的气体抽走，镀膜部内部空间中环境的保持是通过充气系统的充气量与抽气系统的抽气量来达到的。

当镀膜机抽到本底真空后，通入工艺和反应气体（如氩、氧、氮、乙炔等）进行镀膜工作，为了保证镀膜工艺稳定，膜层颜色一致，必须保证气氛均匀，此时在镀膜机后端的抽气口位置设置一格栅装置控制气流运动，保证镀膜产品膜层的均匀性。现有的格栅装置多采用百叶窗式的可转动挡板结构，存在占用空间大，动作不稳定，受温度影响大，角度调节不精准，不能有效控制气流，不能精确定位等问题，容易造成镀膜出来的产品出现色差，严重影响到产品质量，高端的电动光栅结构复杂。

发明内容

针对上述现有技术中存在的问题，本发明提供一种结构简单、拆卸方便、加工便捷、成本低廉的简易格栅装置。

本发明采用的技术方案如下：一种用于真空镀膜设备的简易格栅装置，包括固定板、拉伸气缸、活动杆、活动板，所述固定板固定在真空室抽气口处，在固定板上沿垂直方向设置有多个开口，所述拉伸气缸固定在真空室抽气口的顶板上，拉伸气缸的活塞杆端通过连接套与活动杆连接，所述活动杆延伸至真空室抽气口内，在活动杆上固定有多块活动板，所述活动板与固定板上的开口相匹配，拉伸气缸通过活动杆带动活动板上下移动，从而实现对固定板上的开口的封闭和开启。

进一步地，在活动杆的下部设置有导向槽，在真空室抽气口的底板上固定有与活动杆上的导向槽相配合的导向块。

进一步地，所述导向块通过螺栓与真空室抽气口底板紧固连接。

进一步地，所述固定板通过设置在四周的螺栓与真空室抽气口壁固定连接。

进一步地，在拉伸气缸的活塞杆末端设置有导向套。

进一步地，所述固定板为一体成型，所述活动板采用高强度不锈钢材质。

本发明的用于真空镀膜设备的简易格栅装置，通过拉伸气缸控制活动板上下动作，实现格栅的开启和关闭，实现调节真空室管路气流的目的，固定板与真空室抽气口位置用螺栓连接，拉伸气缸活塞杆通过连接套与活动杆连接，拆卸时只需要拆掉顶部的连接套，然后拧松底部导向块的固定螺栓后即可进行维护工作；拉伸气缸活塞杆末端设有导向套，活动杆下端与导向块配合，保证了拉伸气缸动作时活动板不发生偏转；该装置结构简单、拆卸方便、能耐高温、加工便捷、成本低廉，易损备件都是常规产品，有效降低了生产成本和提高了运行效率。

附图说明

图1是本发明侧面的结构示意图。

图2是本发明正面的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本发明作更全面、细致地描述，但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。