[发明专利]一种叉指电极表面玻璃釉的制备方法在审
申请号: | 202011025136.X | 申请日: | 2020-09-25 |
公开(公告)号: | CN112309649A | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 傅仁利;张鑫垚;邹燕清;吴彬勇;高伟俊;奚亚男;催皓博 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学;惠州市钰芯电子材料有限公司 |
主分类号: | H01B13/22 | 分类号: | H01B13/22;G01N27/22 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 王勇 |
地址: | 210016 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电极 表面 玻璃 制备 方法 | ||
1.一种叉指电极表面玻璃釉的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤一:通过熔融水淬法制备低软化点玻璃;
步骤二:通过球磨方式将玻璃磨成粉;
步骤三:将溶剂、增稠剂、增塑剂、触变剂搅拌均匀制备成有机载体;
步骤四:将有机载体与玻璃粉进行混合制备成玻璃浆料;
步骤五:将玻璃浆料通过丝网印刷或旋涂的方式涂覆到叉指电极表面;
步骤六:将叉指电极表面湿膜烘干后烧结形成玻璃釉。
2.根据权利要求1所述的一种叉指电极表面玻璃釉的制备方法,其特征在于:步骤一中,以Bi2O3、H3BO3、ZnO、BaCO3、Al2O3、SiO2作为原料,以酒精或去离子水为介质,球磨12h将原料混合均匀,将其烘干后置于刚玉坩埚中进行熔融,熔融过程中升温速率为10℃/min,升至800-1000℃后保温1-3h,将熔融的液体倒入去离子水中得到低软化点玻璃,其中Bi2O3含量为40~70mol%,H3BO3:ZnO=4:1~1:1,BaCO3含量为5~10mol%,Al2O3含量为0~5mol%,SiO2为0~5mol%。
3.根据权利要求1所述的一种叉指电极表面玻璃釉的制备方法,其特征在于:步骤二中,以酒精或去离子水为介质,使用氧化锆或氧化铝磨球,在氧化锆或氧化铝球磨罐中将玻璃磨成粉后,过325目筛,将所得玻璃粉在100℃烘箱中烘干。
4.根据权利要求1所述的一种叉指电极表面玻璃釉的制备方法,其特征在于:步骤三中,溶剂为松油醇、二乙二醇丁醚醋酸酯、N-甲基吡咯烷酮中的一种或几种,增稠剂为乙基纤维素、硝化纤维素、聚乙烯醇缩丁醛、聚乙烯吡咯烷酮中的一种或几种,增塑剂为邻苯二甲酸酯类,触变剂为氢化蓖麻油,将上述原料按比例溶剂65-95份、增稠剂1-20份、增塑剂2-15份、触变剂0-10份置于烧杯中进行混合,于90℃进行磁力搅拌至混合均匀后,在室温先静置24h,制成有机载体。
5.根据权利要求1所述的一种叉指电极表面玻璃釉的制备方法,其特征在于:步骤四中,将玻璃粉50-70份与有机载体30-50份通过磁力搅拌进行预混,再用三辊轧机进行进行三次轧制制备成玻璃浆料。
6.根据权利要求1所述的一种叉指电极表面玻璃釉的制备方法,其特征在于:步骤五中的丝网印刷中丝网所用网版目数为300目,刮板与网版角度为30-60°,旋涂过程中分两个阶段,在400-600r/min旋涂15s,再在2500-3000r/min旋涂30s,该步骤进行2-3次,保证浆料能够覆盖金属电极表面。
7.根据权利要求1所述的一种叉指电极表面玻璃釉的制备方法,其特征在于:步骤六中,将带有湿膜的叉指电极在80-100℃的烘箱中放置15-30min,直至湿膜中有机载体挥发,将带有干膜的叉指电极在马弗炉中烧结,以5℃/min升温至300-350℃,保温30min后,以5℃/min升至420-480℃,保温60min,形成玻璃釉。
8.根据权利要求1所述的一种叉指电极表面玻璃釉的制备方法,其特征在于:叉指电极的基板材料为氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷、氮化硅陶瓷、硅基中的至少一种,电极层含有Pt或Au中的至少一种。
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