[发明专利]一种EMCCD电荷转移效率的测试方法有效
| 申请号： | 202011026774.3 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112269075B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 焦贵忠;孙丽丽;田波;卜令旗 | 申请（专利权）人： | 华东光电集成器件研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233030 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 emccd 电荷 转移 效率 测试 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种EMCCD电荷转移效率的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：
a、采用非倍增模式，测量EMCCD的非倍增输出信号电荷在转移前的数值V2，并记录此时所有的交直流电极数据、温度数据与光照数据；
步骤a按以下子步骤执行：
a1、给EMCCD上电，采用绿光光源，光源输出均匀光照；
a2、采用非倍增模式，调节光源，使EMCCD的输出信号是峰值输出信号的一半；
a3、抽取行第一像素的电压幅度值记为V2`，记录行第一像素在光敏区的行列位置信息，根据非倍增放大器增益倍数OAR2，计算出第一像素的电荷量V2=V2`/OAR2；
a4、记录此时所有的交直流电极数据、温度数据与光照数据；
b、采用倍增模式，交直流电极数据、温度数据与光照数据按照步骤a执行，单独调节倍增电极，测量EMCCD的倍增输出信号电荷在转移前的数值V1；
步骤b按以下子步骤执行：
b1、保持步骤a的交直流电极数据、温度数据与光照数据；
b2、采用倍增模式，单独调节倍增电极；
b3、抽取行最后一个像素的电压幅度值记为V1`，此时行最后一个像素在光敏区的行列位置信息与步骤a行第一像素在光敏区的位置相同，根据倍增放大器增益倍数OAR1，计算出行最后一个像素的电荷量V1=V1`/OAR1；
c、将V1与V2代入公式 ，计算得到EMCCD电荷转移效率 ，n是转导次数。
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