[发明专利]一种检验气路喷淋均匀性的装置

说明书

本发明公开了一种检验气路喷淋均匀性的装置，包括支架，所述支架内侧设置有水箱，所述支架顶部设置有检测箱，所述检测箱内部设置有检测台，所述检测台两侧端部分别贯穿有进水管与出水管，所述进水管与出水管一端均插入到水箱内部，且进水管一端连接有泵体，所述泵体位于水箱内部；本发明通过设计的水箱和检测箱，将其待检测的喷淋管至于检测箱内部与进液管相互接通，通过水箱内的泵体传送液体，使其进入到喷淋管内部，喷出进而观察检测标度线，已达到检测喷孔是否均匀的目的，通过设计的进水管和出水管，两者实现一个循环系统，保证其进水管的液体输送至喷淋管内部喷出然后在通过出水管循环至水箱内部，达到循环使用，节约资源。

技术领域

本发明属于气路喷淋管道喷气均匀性检测技术领域，具体涉及一种检验气路喷淋均匀性的装置。

背景技术

气路喷淋管道用于PECVD镀膜设备中,参与工艺的特种气体工过气路喷淋管道均匀的分布到设备腔体内部,所以气路喷淋的均匀性直接关系到镀膜的效果,对工艺产生的影响非常关键。

现有的气路喷淋管道通过气路管道分布的设计,喷淋孔的分布设计,已经极大的保证了气体喷淋的均匀性,但是还是会有加工过程中出现的一些偏差和不良,如果没有有效的检测手段,将会混入到正常的管道中,在生产中就会产生影响的问题，为此我们提出一种检验气路喷淋均匀性的装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种检验气路喷淋均匀性的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种检验气路喷淋均匀性的装置，包括支架，所述支架内侧设置有水箱，所述支架顶部设置有检测箱，所述检测箱内部设置有检测台，所述检测台两侧端部分别贯穿有进水管与出水管，所述进水管与出水管一端均插入到水箱内部，且进水管一端连接有泵体，所述泵体位于水箱内部，所述进水管另一端设置有接嘴，所述接嘴内部设置有接头，所述接头内侧固定有进液管，所述进液管一端连接有三通，所述三通两端均固定有分接管，所述分接管一端连接有喷淋管。

优选的，所述支架底部四个拐角处均通过螺纹连接有调节地脚，所述调节地脚底部套设有耐磨套，所述耐磨套底部开设有安装孔，所述安装孔内部设置有紧固螺钉，所述紧固螺钉与调节地脚通过螺纹连接。

优选的，所述分接管的横截面为L型结构，所述喷淋管表面开设有喷孔。

优选的，所述喷淋管两端均连接有堵头，所述堵头与喷淋管之间通过螺纹连接，且堵头一端外部套设有密封垫。

优选的，所述喷淋管底部设置有托架，所述托架固定在检测台表面。

优选的，所述检测台位于检测箱的中心位置，且检测箱内壁设置有检测标度线。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

（1）通过设计的水箱和检测箱，将其待检测的喷淋管至于检测箱内部与进液管相互接通，通过水箱内的泵体传送液体，使其进入到喷淋管内部，喷出进而观察检测标度线，已达到检测喷孔是否均匀的目的，通过设计的进水管和出水管，两者实现一个循环系统，保证其进水管的液体输送至喷淋管内部喷出然后在通过出水管循环至水箱内部，达到循环使用，节约资源，通过设计的接头，接头与接嘴快速插入卡接固定，从而便于进液管与进水管的快速组装，通过设计的三通，便于将其进液管与两个分接管实现连接，保证其一拖二的模式工作，降低其进液成本，使其两个分接管进入液体压力等同，通过设计的检测标度线，方便操作者进行水位的观察是否合格。

（2）通过设计的耐磨套，包裹在调节地脚的底部，对其地脚底部实现包裹保护，避免其受到磨损而影响本发明的水平调整，从而导致其检测结果出现误差，通过设计的紧固螺钉，紧固螺钉安装在耐磨套底部的安装孔内，达到紧固作用，其通过螺纹旋合连接，方便后期的拆装。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；