[发明专利]一种微环调制器

权利要求书

1.一种微环调制器，其特征在于，包括：

输入耦合器；

第一传输波导，所述第一传输波导的第一端与所述输入耦合器的输出端连接；

输出耦合器，所述输出耦合器的输入端与所述第一传输波导的第二端连接；

耦合系数可调的硅基双微环器件，所述硅基双微环器件和所述第一传输波导互为耦合关系。

2.根据权利要求1所述的微环调制器，其特征在于，所述输入耦合器包括倒锥形耦合器或者光栅耦合器，和/或，所述输出耦合器包括倒锥形耦合器或者光栅耦合器。

3.根据权利要求1所述的微环调制器，其特征在于，所述耦合系数可调的硅基双微环器件包括第一微环波导、第二微环波导以及光开光器件，所述第一微环波导的第一端与所述光开光器件的第一输入端连接，所述光开关器件的第一输出端与所述第一微环波导的第二端连接，构成第一微环；所述第二微环波导的第一端与所述光开关器件的第二输入端连接，所述光开关器件的第二输出端与所述第二微环波导的第二端连接，构成第二微环，所述硅基双微环器件和所述第一传输波导互为耦合关系，所述光开光器件用于调节所述第一微环和所述第二微环的耦合系数。

4.根据权利要求3所述的微环调制器，其特征在于，所述光开关器件包括第一分光器、第二分光器和移相器；

所述第一微环波导的第一端与所述第一分光器的第一输入端连接，所述第一分光器的第一输出端与所述移相器的第一输入端连接，所述移相器的第一输出端与所述第二分光器的第一输入端连接，所述第一微环波导的第二端与所述第二分光器的第二输出端连接，构成所述第一微环；

所述第二微环波导的第一端与所述第一分光器的第二输入端连接，所述第一分光器的第二输出端与所述移相器的第二输入端连接，所述移相器的第二输出端与所述第二分光器的第二输入端连接，所述第二微环波导的第二端与所述第二分光器的第二输出端连接，构成所述第二微环。

5.根据权利要求3所述的微环调制器，其特征在于，所述第二微环波导包括第一直波导部、第一弯曲波导部和第二弯曲波导部，所述第一弯曲波导部的第一端作为所述第二微环波导的第一端，所述第二弯曲波导的第二端作为所述第二微环波导的第二端，所述第一弯曲波导部的第二端与所述第一直波导部的第一端连接，所述第一直波导部的第二端与所述第二弯曲波导部的第一端连接。

6.根据权利要求5所述的微环调制器，其特征在于，所述第一微环波导和所述第二微环波导的结构相同,所述第一直波导部和所述第一传输波导具有预设耦合系数。

7.根据权利要求4所述微环调制器，其特征在于，所述移相器包括第二传输波导和第三传输波导，其中所述第二传输波导设置有第一PN结掺杂区，所述第三传输波导设置有第二PN结掺杂区；

所述第二传输波导的第一端与所述第一分光器的第一输出端连接，所述第二传输波导的第二端与所述第二分光器的第一输入端连接；

所述第三传输波导的第一端与所述第一分光器的第二输出端连接，所述第三传输波导的第二端与所述第二分光器的第二输入端连接。

8.根据权利要求7所述的微环调制器，其特征在于，所述光开关器件还包括第一电极和第二电极，所述第一电极与所述第一PN结掺杂区的P区连接，所述第二电极与所述第二PN结掺杂区的P区连接；

或者，所述第一电极与所述第一PN结掺杂区的N区连接，所述第二电极与所述第二PN结掺杂区的N区连接；

所述第一PN结掺杂区和所述第二PN结掺杂区串联连接。

9.根据权利要求7所述的微环调制器，其特征在于，所述光开关器件还包括第三电极、第四电极、第五电极和第六电极，所述第三电极与所述第一PN结掺杂区的P区连接，所述第四电极与所述第一PN结掺杂区的N区连接，所述第五电极与所述第二PN结掺杂区的P区连接，所述第六电极与所述第二PN结掺杂区的N区连接；

所述第一PN结掺杂区和所述第二PN结掺杂区绝缘设置。

10.根据权利要求4所述的微环调制器，其特征在于，所述第一分光器的分光比为1:1；和/或，所述第二分光器的分光比为1:1。