[发明专利]一种硅片翻转装置及使用方法和硅片生产系统在审

专利信息
申请号: 202011029002.5 申请日: 2020-09-27
公开(公告)号: CN112259483A 公开(公告)日: 2021-01-22
发明(设计)人: 董平博;邱其伟;王彦齐 申请(专利权)人: 苏州迈为科技股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人: 蓝晓玉
地址: 215299 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 翻转 装置 使用方法 生产 系统
【说明书】:

发明提供一种硅片翻转装置及使用方法和硅片生产系统,其中包括:传输组件;翻转组件,包括驱动轴以及对称设置于所述驱动轴两侧的第一轮盘和第二轮盘,所述第一轮盘的靠近所述驱动轴的第一侧面均匀开设有多个沿径向延伸的第一沟槽,所述第二轮盘的靠近所述驱动轴的第二侧面均匀开设有多个沿径向延伸的第二沟槽,所述第一沟槽与所述第二沟槽对称设置;控制器,与所述驱动轴、所述输送跑道和所述输出跑道的控制端均连接,所述控制器用于控制所述驱动轴带动所述第一轮盘和所述第二轮盘同步转动。仅通过沟槽与硅片两侧边的线接触即可实现硅片在不同工序之间的翻转,极大程度地避免面接触可能导致的硅片损伤,提高硅片翻转和生产的质量。

技术领域

本发明涉及工业生产技术领域,尤其涉及一种硅片翻转装置及使用方法和硅片生产系统。

背景技术

随着光伏行业的快速发展,行业内竞争愈演愈烈,光伏企业对于提高硅片产能及良品率的要求越来越高。

在现有硅片生产中,硅片在涉及硅片翻面工艺时,通常采用轮式翻片,对硅片逐一进行翻转。

现有的轮式硅片翻片机构采用的是硅片与翻转机构面接触的方式进行翻转,且通常是硅片有效工作面与翻片机构接触,存在硅片损伤的风险。

发明内容

本发明实施例提供一种硅片翻转装置及使用方法和硅片生产系统,以解决现有的轮式硅片翻片机构存在损伤硅片的技术问题。

为了达到上述目的,本发明提供的具体方案如下:

第一方面,本发明实施例提供了一种硅片翻转装置,包括:

传输组件,包括输送跑道和输出跑道;

翻转组件,包括驱动轴以及对称设置于所述驱动轴两侧的第一轮盘和第二轮盘,所述第一轮盘的靠近所述驱动轴的第一侧面均匀开设有多个沿径向延伸的第一沟槽,所述第二轮盘的靠近所述驱动轴的第二侧面均匀开设有多个沿径向延伸的第二沟槽,所述第一沟槽与所述第二沟槽对称设置;

控制器,与所述驱动轴、所述输送跑道和所述输出跑道的控制端均连接,所述控制器用于控制所述驱动轴带动所述第一轮盘和所述第二轮盘同步转动。

可选的,所述第一沟槽和所述第二沟槽均为梯形槽,所述梯形槽的侧壁与所述梯形槽的中心线之间的夹角为锐角。

可选的,所述梯形槽的侧壁与所述梯形槽的中心线之间的夹角范围包括:2度至30度。

可选的,伸入所述梯形槽内的硅片侧边与所述梯形槽的槽底之间的距离范围为:2毫米至5毫米。

可选的,所述翻转组件还包括护套,所述驱动轴的两端分别通过护套与所述第一轮盘和所述第二轮盘固定连接。

可选的,所述护套为聚缩醛结构。

可选的,所述护套的一侧通过所述驱动轴的平键与所述驱动轴连接,所述护套的另一侧与第一轮盘或者第二轮盘通过螺钉连接。

可选的,所述输送跑道和所述输出跑道均包括:传送轮、启动机构和用于承载所述硅片的平皮带;其中,

所述启动机构的控制端与所述控制器电连接,所述启动机构的传动端与所述传送轮传动连接,所述平皮带包裹在所述传送轮上。

第二方面,本公开实施例提供了一种硅片生产系统,第一生产工序、第二生产工序以及第一方面中任一项所述的硅片翻转装置;

所述第一生产工序的出料口与所述硅片翻转装置的输送跑道连通,所述硅片翻转装置的输出跑道与所述第二生产工序的进料口连通。

第三方面,本公开实施例还提供了一种硅片翻转方法,应用第一方面中任一项所述的硅片翻转装置,所述方法包括:

输送跑道接收硅片,将所述硅片输送至第一轮盘和第二轮盘;

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