[发明专利]一种拉曼光谱仪

权利要求书

1.一种拉曼光谱仪，包括激光器(1)，其特征在于：所述拉曼光谱仪由激光器(1)、滤光片本体(2)、检测接口(3)、透镜本体(4)、瑞丽散射滤光片(5)、光纤(6)、狭缝(7)、第一反射镜(8)、第二反射镜(9)、光栅(10)、微镜阵列(11)、透镜组(12)和PMT(13)组成，所述激光器(1)发出的连续光经过滤光片本体(2)过滤去除不用的杂散光，所述激光器(1)激光照射样品产生拉曼散射，散射光经过瑞丽散射滤光片(5)过滤掉，瑞丽散射光由透镜本体(4)收集经光纤(6)传播到达光谱仪狭缝(7)，拉曼散射光经光栅(10)分光后，会产生不同频率的光带，光带经第一反射镜(8)和第二反射镜(9)被投射到微镜阵列(11)的不同位置上，不同频率的光经微镜阵列(11)选择，相应被选择频率的光经过微镜反射按一定的入射角度全部集中到检测器上，对不需要的光线按另外一个角度反射出去，并且不能达到检测器上。

2.根据权利要求1所述的一种拉曼光谱仪，其特征在于：所述拉曼光谱仪还包括DMD微镜控制器(14)、信号处理器(15)、控制器本体(16)、主控制器(17)、通讯接口(18)和计算机(19)。

3.根据权利要求1所述的一种拉曼光谱仪，其特征在于：所述微镜阵列(11)是由912X1124个横竖直线排列的微镜组成的数字微镜阵列(11)，每个微镜为边长10um的正方形，微镜之间有1um的间隙，微镜的偏转由集成电路控制，可产生+12°和-12°的偏转，用不同的偏转角度来选择光线，微镜偏转到+12°时，将入射光信号反射到检测器上，当微镜偏转到-10°时，光线被要求不能到达检测器。

4.根据权利要求1所述的一种拉曼光谱仪，其特征在于：检测器采用单点检测器代替常用的阵列检测器，采用光电倍增管或者和固态光电倍增管，近红外频谱段采用制冷的铟镓砷检测器。

5.根据权利要求1所述的一种拉曼光谱仪，其特征在于：所述光栅(10)分光后不同频率的光首先投射到微镜阵列(11)上，电控微镜阵列(11)选择不同频率，不同波长聚合到单个检测器上，每次电控选择一个模板，一次检测数个频率信号。