[发明专利]一种利用离焦差分平场矫正检测镜头洁净度的方法有效
申请号: | 202011029849.3 | 申请日: | 2020-09-27 |
公开(公告)号: | CN112326681B | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 何姜;周威;张斌 | 申请(专利权)人: | 南京茂莱光学科技股份有限公司;茂莱(南京)仪器有限公司;南京茂莱精密测量系统有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94;G01N21/88 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 李倩 |
地址: | 211100 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 离焦差分平场 矫正 检测 镜头 洁净 方法 | ||
1.一种利用离焦差分平场矫正检测镜头洁净度的方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)搭建平场测试光路,所述平场测试光路包括光源、待测镜头和单色相机;将单色相机的感光面垂直于待测镜头的镜头光轴放置,并平移至待测镜头的出光位置;
(2)定义离焦量为相机感光面距离待测镜头后焦面距离,选取若干不同离焦量,测量不同离焦下的明场图像数据和暗场图像数据;
(3)针对每个像素,进行离焦差分平场校正运算:
DiDj离焦差分=(离焦Di的明场数据-离焦Di的暗场数据)/(离焦Dj的明场数据-离焦Dj的暗场数据);
其中,Di、Dj分别是两种不同的离焦,i∈[1,N],j∈[1,N];N是离焦的个数;
(4)将各个像素的离焦差分结果的矩阵以图像形式显示,进行镜头洁净度的判断;
定义明场数据是视场中心最亮处值是饱和值的80%~90%时的数据,暗场数据是没有信号输入时的数据;固定曝光时间,调整光源亮度,进行明场、暗场图像数据采集。
2.根据权利要求1所述的利用离焦差分平场矫正检测镜头洁净度的方法,其特征在于:根据光学系统焦深,主光线角度以及杂质的大小、位置确定离焦量的取值范围,步骤(2)中,所选取的若干不同离焦量均匀分布在所述取值范围内。
3.根据权利要求2所述的利用离焦差分平场矫正检测镜头洁净度的方法,其特征在于:通过步进采样确定所述离焦量的取值范围。
4.根据权利要求1所述的利用离焦差分平场矫正检测镜头洁净度的方法,其特征在于,步骤(2)中,不同离焦的暗场图像数据分别采集:针对多个离焦,单独测量每个离焦下的暗场图像数据,获取每个像素在各个离焦下的明场图像数据和暗场图像数据。
5.根据权利要求4所述的利用离焦差分平场矫正检测镜头洁净度的方法,其特征在于:步骤(3)中,包括离焦D1、离焦D2、离焦D3、……离焦DN-1、离焦DN,所述离焦差分平场校正运算遍历上述N个离焦的两两差分组合,获得N×(N-1)种离焦差分组合。
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