[发明专利]压电陶瓷及其制造方法以及压电元件

权利要求书

1.一种压电陶瓷，该压电陶瓷的构成元素不含铅，所述压电陶瓷的特征在于：

所含有的颗粒的粒径的变动系数C.V.为35％以下，并且，

在用电子背散射衍射(EBSD)法对所述压电陶瓷的截面进行分析所得到的图像质量(IQ)图像中，能够观察到粒径为3μm～5μm且畴在颗粒中所占的面积比例为85％以上的颗粒。

2.如权利要求1所述的压电陶瓷，其特征在于：

能够跨相邻的多个颗粒观察到所述畴。

3.如权利要求1或2所述的压电陶瓷，其特征在于：

所述压电陶瓷的主要成分为由组成式(Bi_0.5-x/2Na_0.5-x/2Ba_x)(Ti_1-yMn_y)O₃表示的钙钛矿型化合物，其中，0.01≤x≤0.25，0.001≤y≤0.020。

4.一种压电陶瓷的制造方法，所述压电陶瓷的构成元素不含铅，所述压电陶瓷的制造方法的特征在于，包括：

将规定量的原料粉末混合得到混合粉末的步骤；

对所述混合粉末进行预烧制得到预烧粉的步骤；

将所述预烧粉成形为规定形状得到成形体的步骤；

对所述成形体进行烧制得到烧结体的步骤；和

对所述烧结体进行极化处理的步骤，

作为所述原料粉末中按摩尔换算的使用量最多的原料粉末，使用比表面积为10m²/g以上的粉末。

5.如权利要求4所述的压电陶瓷的制造方法，其特征在于：

所述烧结体的主要成分为由组成式(Bi_0.5-x/2Na_0.5-x/2Ba_x)(Ti_1-yMn_y)O₃表示的钙钛矿型化合物，其中，0.01≤x≤0.25，0.001≤y≤0.020，所述按摩尔换算的使用量最多的原料粉末为TiO₂粉末。

6.如权利要求4或5所述的压电陶瓷的制造方法，其特征在于：

在1100℃以下的温度进行所述烧制。

7.一种压电元件，其特征在于，包括：

权利要求1～3中任一项所述的压电陶瓷；和

与所述压电陶瓷电连接的电极。

8.如权利要求7所述的压电元件，其特征在于，包括：

压电陶瓷层和内部电极层交替地层叠的层叠体；

一对连接导体，该一对连接导体中的每个连接导体每隔一层地与所述内部电极层电连接；和

设置在所述层叠体的表面的分别与所述一对连接导体电连接的表面电极。