[发明专利]一种用于芯片制程的数控组合设备在审

专利信息
申请号: 202011032111.2 申请日: 2020-09-27
公开(公告)号: CN112222852A 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 高景坡;高涵;吴萍;劳春燕 申请(专利权)人: 山东省阳信泰锐电子有限公司
主分类号: B23P23/04 分类号: B23P23/04;B23Q3/00;B23Q11/00
代理公司: 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 代理人: 周文
地址: 251800 山东省滨州市*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 芯片 数控 组合 设备
【权利要求书】:

1.一种用于芯片制程的数控组合设备,包括机床座(1),支撑腿(2),机床头(3),控制面板(4),旋转电机组件(5),可缓冲夹持防护座结构(6),可支撑固定焊接架结构(7),可转动吸附遮挡罩结构(8),可旋转插接雕刻座结构(9),吸风机(10),第一连接管(11),输送管(12),固定底板(13),烟气净化箱(14)和排放管(15),所述的支撑腿(2)的上端分别螺栓连接在机床座(1)的下端四角位置;所述的机床头(3)分别螺栓连接在机床座(1)的上端左右两侧;所述的控制面板(4)螺栓连接在机床头(3)的正表面右侧中间位置;所述的旋转电机组件(5)螺栓连接在机床座(1)的内部顶端中间位置且贯穿机床座(1)的上端中间位置;所述的吸风机(10)螺栓连接在固定底板(13)的上端右侧前面;所述的第一连接管(11)的左侧螺纹连接在吸风机(10)的右侧上部且右侧贯穿机床座(1)的右侧下部前面位置;所述的输送管(12)的右侧螺纹连接在吸风机(10)的左侧上部;所述的输送管(12)的左侧螺纹连接在烟气净化箱(14)的右侧下部前面且连通设置;所述的固定底板(13)螺栓连接在机床座(1)的内壁下部;所述的烟气净化箱(14)螺栓连接在固定底板(13)的上端中间位置左侧;所述的排放管(15)的右侧螺纹连接在烟气净化箱(14)的左侧上部中间位置且连通设置;所述的排放管(15)的左侧贯穿机床座(1)的左侧下部中间位置;其特征在于,该用于芯片制程的数控组合设备中所述的可缓冲夹持防护座结构(6)安装在旋转电机组件(5)的上端;所述的可支撑固定焊接架结构(7)安装在可缓冲夹持防护座结构(6)的内部底端中间位置;所述的可转动吸附遮挡罩结构(8)安装在机床座(1)的上端中间位置;所述的可旋转插接雕刻座结构(9)安装在机床头(3)的左侧内部中间位置;所述的可缓冲夹持防护座结构(6)包括夹具座(61),固定槽(62),夹持板(63),夹持弹簧(64)和L型固定板(65),所述的固定槽(62)开设在夹具座(61)的内部底端中间位置;所述的夹持板(63)分别螺栓连接在夹具座(61)的上端左右两侧;所述的夹持弹簧(64)一端从前到后依次螺栓连接在夹持板(63)的内壁上部;所述的夹持弹簧(64)另一端从前到后依次螺栓连接在L型固定板(65)的内壁上部。

2.如权利要求1所述的用于芯片制程的数控组合设备,其特征在于,所述的可支撑固定焊接架结构(7)包括焊接座(71),支撑架(72),焊接槽(73),焊接架(74)和焊接头(75),所述的支撑架(72)从前到右依次螺栓连接在焊接座(71)的上端左右两侧;所述的焊接槽(73)开设在焊接座(71)的上端中间位置;所述的焊接架(74)的下端螺栓连接在焊接槽(73)的内部底端;所述的焊接头(75)从前到后依次螺栓连接在焊接架(74)的上端。

3.如权利要求1所述的用于芯片制程的数控组合设备,其特征在于,所述的可转动吸附遮挡罩结构(8)包括固定连接板(81),转动盖(82),第二连接管(83),遮挡盖(84),观察片(85)和拉动杆(86),所述的转动盖(82)的后端铰链连接在固定连接板(81)的上端;所述的第二连接管(83)分别螺栓连接在转动盖(82)的上端左右两侧中间位置且分别贯穿转动盖(82);所述的遮挡盖(84)的上端螺栓连接在转动盖(82)的下端前面;所述的观察片(85)镶嵌在遮挡盖(84)的正表面下部中间位置;所述的拉动杆(86)螺栓连接在遮挡盖(84)的正表面下部中间位置。

4.如权利要求1所述的用于芯片制程的数控组合设备,其特征在于,所述的可旋转插接雕刻座结构(9)包括旋转升降电机(91),螺纹管(92),升降座(93),插接杆(94),电动气缸组件(95),雕刻座(96),雕刻电机(97)和铣刻刀具(98),所述的螺纹管(92)的上端键连接在旋转升降电机(91)的输出轴外壁;所述的螺纹管(92)贯穿升降座(93)的左侧内部中间位置且螺纹连接设置;所述的插接杆(94)贯穿升降座(93)的右侧内部中间位置;所述的电动气缸组件(95)的左侧螺栓连接在升降座(93)的右侧中间位置;所述的电动气缸组件(95)的右侧螺栓连接在雕刻座(96)的左侧中间位置;所述的雕刻电机(97)螺栓连接在雕刻座(96)的上端中间位置且输出轴贯穿雕刻座(96)的内部中间位置;所述的铣刻刀具(98)的上端螺栓连接在雕刻电机(97)的输出轴外壁。

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