[发明专利]一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构

权利要求书

1.一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构，其特征在于：包括推送机构(2)、用于带动晶体移动的第一移动机构(3)、机架(4)、第二移动机构(5)、支撑套(6)、支撑座(7)、放置板(8)，所述推送机构(2)设置在所述机架(4)前方中间位置，所述第一移动机构(3)设置在所述机架(4)一侧，所述第二移动机构(5)设置在所述机架(4)前方，所述支撑套(6)位于所述机架(4)内侧，所述支撑座(7)设置在所述机架(4)内侧中间位置，所述放置板(8)位于所述推送机构(2)内侧，还包括固定机构(1)，所述固定机构(1)包括底座(11)、放置座(12)、限位架(13)、皮垫(14)、加热丝(15)，所述底座(11)安装在所述支撑座(7)顶部，所述放置座(12)安装在所述底座(11)顶部，所述限位架(13)安装在所述放置座(12)顶部，所述皮垫(14)安装在所述放置座(12)顶部，所述加热丝(15)设置在所述底座(11)内侧。

2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构，其特征在于：所述推送机构(2)包括支撑架(21)、推送气缸(22)、推送架(23)，所述支撑架(21)安装在所述机架(4)前端中间位置，所述推送气缸(22)固定部安装在所述支撑架(21)下侧，所述推送架(23)前端的下侧安装在所述推送气缸(22)伸缩部，所述放置板(8)位于所述推送架(23)顶部。

3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构，其特征在于：所述第一移动机构(3)包括第一伺服电机(31)、第一丝杠(32)、第一移动架(33)、链轮(34)、链条(35)，所述第一伺服电机(31)安装在所述机架(4)一端前侧，所述第一丝杠(32)前后两端安装在所述机架(4)内部前后两侧位置，所述第一移动架(33)两端安装在所述第一丝杠(32)外侧，所述链轮(34)安装在所述第一丝杠(32)一侧，所述链条(35)设置在所述链轮(34)外侧。

4.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构，其特征在于：所述第一移动机构(3)包括第一伺服电机(31)、第一丝杠(32)、第一移动架(33)、带轮(314)、皮带(315)，所述第一伺服电机(31)安装在所述机架(4)一端前侧，所述第一丝杠(32)前后两端安装在所述机架(4)内部前后两侧位置，所述第一移动架(33)两端安装在所述第一丝杠(32)外侧，所述带轮(314)安装在所述第一丝杠(32)一侧，所述皮带(315)设置在所述带轮(314)外侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构，其特征在于：所述第二移动机构(5)包括第二伺服电机(51)、第二丝杠(52)、第二移动架(53)、辅助电机(54)，所述第二伺服电机(51)和所述辅助电机(54)安装在所述机架(4)前侧，所述第二伺服电机(51)位于所述辅助电机(54)一侧，所述第二丝杠(52)前后两端安装在所述机架(4)内部的两侧，所述第二移动架(53)两端安装在所述第二丝杠(52)外侧。

6.根据权利要求1所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构，其特征在于：所述底座(11)与所述支撑座(7)通过螺栓连接，所述放置座(12)与所述底座(11)通过螺钉连接，所述限位架(13)与所述放置座(12)通过焊接连接。

7.根据权利要求2所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构，其特征在于：所述支撑架(21)与所述机架(4)通过螺栓连接，所述推送气缸(22)固定部与所述支撑架(21)通过螺栓连接，所述推送架(23)与所述推送气缸(22)伸缩部通过螺纹连接。

8.根据权利要求3所述的一种用于集成电路生产的固晶机叠片送料机构，其特征在于：所述第一伺服电机(31)与所述机架(4)通过螺栓连接，所述第一丝杠(32)与所述机架(4)通过轴承连接，所述第一移动架(33)与所述第一丝杠(32)通过螺纹连接，所述链轮(34)与所述第一丝杠(32)通过键连接。