[发明专利]一种高真空低温金属测试装置测试方法

权利要求书

1.一种高真空低温金属测试装置测试方法，其特征在于，所述测试装置的测试方法包括以下过程：

首先，打开机械泵使其工作，接着打开真空腔体的旁抽阀和连接CF200分子泵的闸板阀，然后观察真空计显示的真空度，观看其变化，当真空腔体内真空度达到0-50Pa时打开CF200分子泵的前级阀，达到实验需求的真空度1X10^-5 时进行实验；控制拉伸气缸（5）把安装好的样品推入高温检测系统中，加热系统温度达到1000°C时停留30min通过观察窗观察腔体内变化，实验结束时控制拉伸气缸（5）拉出20mm，使样品完全从高温控制系统中露出，此时通过伺服电机转动屏蔽挡板组件遮挡住高温控制系统，然后通过控制旋转气缸（4）转动样品台到低温控制系统进入位置；拉伸气缸（5）推动样品台进入低温控制系统中对样品进行低温冷冻检测，当低温检测30min完成时，按照上述方式重复样品在高低温控制系统中进行实验，直至完成实验。

2.根据权利要求1所述的一种高真空低温金属测试装置的测试方法，其特征在于，所述方法为保护CF200分子泵先关闭分子泵前级阀和闸板阀，当转速降低到1500rpm时关闭分子泵，打开腔体上的放气阀后打开腔体上盖取出样品实验结束，每次实验可以安装15组待测样品。

3.根据权利要求1所述的一种高真空低温金属测试装置的测试方法，其特征在于，所述测试装置包括高真空腔体、气缸驱动装置、CF200分子泵、机械泵、高温控制系统、低温控制系统、观察窗、电极、闸板阀、腔体上盖、样品拖组件、屏蔽挡板组件、磁流体、PLC控制器单元。

4.根据权利要求1或3所述的一种高真空低温金属测试装置的测试方法，其特征在于，所述测试装置样品台旋转组件（9），同连接轴（8）紧固连接，随转动轴做同样运动。

5.根据权利要求1或3所述的一种高真空低温金属测试装置的测试方法，其特征在于，所述测试装置波纹管组件（6）与样品台旋转组件（9）滑动连接，随拉伸气缸（5）做拉伸运动。

6.根据权利要求1或3所述的一种高真空低温金属测试装置的测试方法，其特征在于，所述测试装置腔体上盖（13）和折页（15）通过销钉连接在同气弹簧（14）共同连接在真空腔体（3）上实现开合作用。

7.根据权利要求1或3所述的一种高真空低温金属测试装置的测试方法，其特征在于，所述测试装置样品（20）安装在样品托（19）上与样品台旋转组件（9）连接在传动轴（8）上随传动轴做相同的运动。

8.根据权利要求1或3所述的一种高真空低温金属测试装置的测试方法，其特征在于，所述测试装置水冷系统（13）安装在高温控制系统（10）上保护系统正常运行。

9.根据权利要求1或3所述的一种高真空低温金属测试装置的测试方法，其特征在于，所述测试装置隔热罩（22）安装在高温控制系统（10）内部维持腔体内部温度稳定值。

10.根据权利要求1或3所述的一种高真空低温金属测试装置的测试方法，其特征在于，所述测试装置电极（17）通过与真空腔体（3）预留口通过铜圈密封形式连接引入工作电压，观察窗（15）设在真空腔体（3）上观察腔体内部。