[发明专利]一种凸轮结构插板阀装置

说明书

本发明为一种凸轮结构插板阀装置，涉及插板阀领域，解决了在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行进、出口隔离，而以前的插板阀都是使用的气缸或波纹管驱动结构，因温度、疲劳、外力等作用下，造成气缸密封川老化漏气、波纹管疲劳破裂，极易造成内部泄漏，瞬间破坏箱体真空度，使分子泵跳停，损坏分子泵，箱体内的产品全部报废，在实际应用存在很大隐患的问题。技术特征包括:插板阀；第一真空箱体，所述第一真空箱体安裝于插板阀上。彻底解決了连续真空磁控溅射镀膜装置中內漏问题(內漏用检漏仪检测困难)，将使连续真空磁控溅射镀膜线的稳定性和真空环境得到质的提升。

技术领域

本发明涉及插板阀技术领域，特别涉及一种凸轮结构插板阀装置。

背景技术

目前在真空磁控溅射镀膜工艺中，主要有单箱体真空磁控溅射镀膜机和连续真空磁控溅射镀膜生产线。而在连续真空磁控溅射镀膜生产线中：进口室、进口过渡室、进口主室调节段，出口室、出口过渡室、出口主室调节段大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行隔离。

在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行进、出口隔离，而以前的插板阀都是使用的气缸或波纹管驱动结构，因温度、疲劳、外力等作用下，造成气缸密封川老化漏气、波纹管疲劳破裂，极易造成内部泄漏，瞬间破坏箱体真空度，使分子泵跳停，损坏分子泵，箱体内的产品全部报废，在实际应用存在很大隐患，同時，也解決了内部泄漏致使檢漏仪不易檢測的問題。因此为了解决这一问题，设计一种凸轮结构插板阀装置是非常有必要的。

发明内容

本发明要解决现有技术中的在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行进、出口隔离，而以前的插板阀都是使用的气缸或波纹管驱动结构，因温度、疲劳、外力等作用下，造成气缸密封川老化漏气、波纹管疲劳破裂，极易造成内部泄漏，瞬间破坏箱体真空度，使分子泵跳停，损坏分子泵，箱体内的产品全部报废，在实际应用存在很大隐患的技术问题，提供一种凸轮结构插板阀装置。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案具体如下：

一种凸轮结构插板阀装置，包括:

插板阀；

第一真空箱体，所述第一真空箱体安裝于插板阀上；

第二真空箱体，所述第二真空箱体安裝于插板阀上；

所述第一真空箱体、第二真空箱体与插板阀两端面密封连接。

优选的，所述插板阀包括：阀体、门阀安装板、门阀板组件、插入动作机构、凸轮张开机构、冷却结构、密封结构、固定结构、一对导杆座、一对导杆以及一对导杆轴承套；

所述门阀安装板安裝于阀体侧上表面，且所述门阀安装板与阀体端面密封连接，所述门阀板组件安裝于安装板上，所述插入动作机构安裝与安装板上，且所述插入动作机构与门阀板组件相连接，所述凸轮张开机构安裝于门阀板组件上，且所述凸轮张开机构与门阀板组件相连接，所述冷却结构安裝于阀体上，所述密封结构安置于阀体兩端表面和一侧表面上，所述固定结构开设于阀体兩端表面和一侧表面上，一对所述导杆座安裝于门阀安装板上，所述导杆安裝于相对应的导杆座上，一对所述导杆轴承套安裝于门阀板组件上，且每个所述导杆与相对应的导杆轴承套相连接。

优选的，所述门阀板组件包括：门阀压板、门阀侧板、复位弹簧组件、凸轮组件、凸轮轴固定块、门阀密封板以及门阀平整调节螺栓组；

所述门阀侧板安裝于导杆轴承套上，所述复位弹簧组件安裝于门阀压板和门阀密封板上，所述凸轮轴固定块安裝于门阀侧板内侧表面上，每个所述凸轮组件安裝于相对应的所述凸轮轴固定块上，所述门阀密封板通过复位弹簧组件对门阀压板连接固定，所述门阀平整调节螺栓组安裝于凸轮轴固定块上。