[发明专利]一种解决放电不均匀的曲面电极等离子体发生装置及工作方法

权利要求书

1.一种解决放电不均匀的曲面电极等离子体发生装置，其特征在于，包括进气管道（1）、整流板（2）、出气管道（11）、壳体（19）和放电处理单元；气体经进气管道（1）进入壳体（19）经放电处理单元处理后经出气管道（11）排出，在进气管道（1）与壳体（19）连接处以及壳体（19）与出气管道（11）连接处均设置有整流板（2）；在壳体（19）内部设置有放电处理单元，所述放电处理单元用来产生等离子体；所述放电处理单元包括曲面电极（4）和针状电极（5）；所述曲面电极（4）和针状电极（5）通过导线连通高压电源（9）和接地；所述曲面电极（4）结构为半球形，所述针状电极（5）设置在曲面电极（4）圆心位置处；所述针状电极（5）包括数个带有尖端的细长针状结构组成的树状结构和数个相通的中空细长气管组成的树状结构；数个相通的中空细长气管组成的树状结构的针状电极又称作喷嘴电极，喷嘴电极内可喷出电极气（16）。

2.根据权利要求1所述的解决放电不均匀的曲面电极等离子体发生装置，其特征在于，所述针状电极（5）通过电源输入线（6）与高压电源（9）连接，曲面电极（4）通过接地引线（8）与接地装置（10）连接；或者所述针状电极（5）通过接地引线（8）与接地装置（10）连接，曲面电极（4）通过电源输入线（6）与高压电源（9）连接。

3.根据权利要求1至2任一项所述的解决放电不均匀的曲面电极等离子体发生装置，其特征在于， 数个所述放电处理单元依次放置为一层，同层的放电处理单元并联连接；壳体（19）内上下依次放置数层，且相邻两层放电处理单元错位放置，相邻两层的放电处理单元串联连接。

4.根据权利要求3所述的解决放电不均匀的曲面电极等离子体发生装置，其特征在于，同层放电处理单元之间水平间距为1~100mm；相邻两层放电处理单元之间竖直间距为2~300mm。

5.根据权利要求1-2、4任一项所述的解决放电不均匀的曲面电极等离子体发生装置，其特征在于，等离子体发生装置用于污染物降解。

6.根据权利要求1-2、4任一项所述的解决放电不均匀的曲面电极等离子体发生装置的工作方法，其特征在于，包括如下步骤：气态污染物从进气管道（1）进入，经过整流板（2）后进入放电处理单元，在放电处理单元中，针状电极（5）和曲面电极（4）在高压电源（9）作用下放电并产生等离子体，放电产生的等离子体将污染物分解为无害物质，最后通过整流板（2），从出气管道（11）排出。

7.根据权利要求6所述的解决放电不均匀的曲面电极等离子体发生装置的工作方法，其特征在于，当针状电极（5）为喷嘴电极时，气流在放电和电极气（16）产生的扰动作用下形成湍流，沿曲面电极（4）表面流过曲面电极（4）和针状电极（5）之间的区域，扩大了气体处理量。