[发明专利]一种六层布线任意层互联LCP封装基板、制造方法及多芯片系统级封装结构有效
申请号: | 202011038843.2 | 申请日: | 2020-09-28 |
公开(公告)号: | CN112349690B | 公开(公告)日: | 2023-06-16 |
发明(设计)人: | 戴广乾;曾策;徐诺心;谢国平;廖翱;易明生;潘玉华;马磊强;赵鸣霄;徐榕青 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L23/498;H01L23/552;H01L21/48;H01L21/768 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 徐静 |
地址: | 610036 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 布线 任意 层互联 lcp 封装 制造 方法 芯片 系统 结构 | ||
1.一种六层布线任意层互联LCP封装基板,其特征在于,包括:
从表面至底面分布的6层图形化金属线路层,依次为第一层图形化金属线路层、第二层图形化金属线路层、第三层图形化金属线路层、第四层图形化金属线路层、第五层图形化金属线路层和第六层图形化金属线路层;所述第六层图形化金属线路层设有用于焊接BGA焊球的结构;
位于相邻图形化金属线路层之间的5层绝缘介质层;位于第二层图形化金属线路层和第三层图形化金属线路层之间、第三层图形化金属线路层和第四层图形化金属线路层之间、以及第四层图形化金属线路层和第五层图形化金属线路层之间的绝缘介质层,由LCP基板构成;位于第一层图形化金属线路层和第二层图形化金属线路层之间、以及第五层图形化金属线路层和第六层图形化金属线路层之间的绝缘介质层,由LCP基板和LCP粘接膜构成;
位于第一层图形化金属线路层和第二层图形化金属线路层之间的绝缘介质层中,且开口朝向所述第一层图形化金属线路层的多个盲槽;
贯穿并连接相邻图形化金属线路层的多个盲孔;
所述第一层图形化金属线路层包括外边缘一圈环绕金属层和在环绕金属层内侧的多组芯片I/O焊接及信号传输线路层,每组芯片I/O焊接及信号传输线路层的形状为矩形或异形的孤岛,且每组芯片I/O焊接及信号传输线路层经一个电绝缘区域与环绕金属层相接;该环绕金属层的电学属性为接地层、工艺属性为气密焊接层;所述第一层图形化金属线路层上表面依次设有涂覆层和上表面阻焊层;所述涂覆层覆盖所述环绕金属层和每组芯片I/O焊接及信号传输线路层;所述上表面阻焊层包括第一环绕阻焊层和多个第二环绕阻焊层,其中,每个第二环绕阻焊层对应围绕每个电绝缘区域,所述第一环绕阻焊层围绕所有第二环绕阻焊层;
每组芯片I/O焊接及信号传输线路层内,包含芯片I/O焊盘及信号传输线路,以及一个或多个盲槽;每组芯片I/O焊接及信号传输用线路层内信号的传输,通过该组芯片I/O焊接及信号传输用线路层内的芯片I/O焊盘及信号传输线路,或者经由各层盲孔及下层图形化金属线路层中对应部分共同完成;两组及以上芯片I/O焊接及信号传输层之间的信号传输,由各层盲孔及下层图形化金属线路层中对应部分共同完成。
2.根据权利要求1所述的LCP封装基板,其特征在于,所述LCP粘接膜的熔点比LCP基板的熔点低10~60℃。
3.根据权利要求1所述的LCP封装基板,其特征在于,所述盲槽底部为第二层图形化金属线路层中的大面积金属接地层,并具有涂覆层;所述盲槽在第一层图形化金属线路层的开口周围是芯片I/O焊盘或图形;所述盲槽的数量和大小根据安装芯片的数量和大小确定。
4.根据权利要求1所述的LCP封装基板,其特征在于,所有盲孔在垂直方向上对正或错排堆叠,用于实现6层图形化金属线路层中任意层互联要求;每个盲孔的直径相同,且盲孔深径比≤1,盲孔内填充实心电镀铜。
5.根据权利要求1所述的LCP封装基板,其特征在于,所述第六层图形化金属线路层下表面具有涂覆层;在第六层图形化金属线路层下表面的涂覆层上,设置有所述LCP封装基板对外二次级联I/O焊接用焊盘或图形,以及下表面阻焊层;该下表面阻焊层的开窗为圆形且呈栅格阵列式分布,用于焊接BGA焊球。
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