[发明专利]LED软基板真空吸附机构

说明书

本发明公开了一种LED软基板真空吸附机构，包括：第一固定板；第二固定板，所述第二固定板的上端面与所述第一固定板的下端面相对设置；至少两个调节结构，所述调节结构的一端与所述第一固定板的下端面固定连接，所述调节结构的另一端与所述第二固定板可活动连接，所述调节结构用于调节所述第一固定板和所述第二固定板之间的距离；吸附板，所述吸附板固定设置在所述第一固定板的上端面，所述吸附板上设置有多个通气孔，所述通气孔用于与真空泵连接以吸附LED软基板。应用本发明，能够方便调节LED软基板与检测机构之间的相对位置。

技术领域

本发明涉及半导体设备的技术领域，特别涉及一种LED软基板真空吸附机构。

背景技术

目前，LED软基板的光学检测通常需要将LED软基板放置到放置治具上，然后移动到光学检测机构的下方，通过光学检测机构对LED软基板进行光学检测。检测不同LED软基板的不同参数，有时需要调节LED软基板与光学检测机构之间的距离。在现有技术中，通常可以通过调节光学检测机构的位置来调节LED软基板与光学检测机构之间的距离，但是有时候，即使光学机构调节到了极限位置，LED软基板与光学机构之间的相对距离仍不能符合预设要求，此时，则需要调节放置治具的高度。现有的调节放置治具的高度通常是调节治具的底部与地面的距离，从而整体抬高或放低治具的高度，但是放置治具通常具有较大的重量，从而使得调节过程较为困难。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种LED软基板真空吸附机构，在检测时，能够方便调节LED软基板与检测机构之间的相对位置。

根据本发明面实施例的LED软基板真空吸附机构，包括：

第一固定板；

第二固定板，所述第二固定板的上端面与所述第一固定板的下端面相对设置；

至少两个调节结构，所述调节结构的一端与所述第一固定板的下端面固定连接，所述调节结构的另一端与所述第二固定板可活动连接，所述调节结构用于调节所述第一固定板和所述第二固定板之间的距离；

吸附板，所述吸附板固定设置在所述第一固定板的上端面，所述吸附板上设置有多个通气孔，所述通气孔用于与真空泵连接以吸附LED软基板。

根据本发明实施例的LED软基板真空吸附机构，至少具有如下有益效果：吸附板固定设置在第一固定板的上端面，吸附板上设置有多个通气孔，通气孔用于与真空泵连接以吸附LED软基板，调节结构的一端与第一固定板的下端面固定连接，调节结构的另一端与第二固定板可活动连接，调节结构用于调节第一固定板和第二固定板之间的距离。如此设置，仅需调节第一固定板和第二固定板之间的相对位置，便可以调节LED软基板与检测机构之间的相对位置。由于第一固定板的质量相对于现有的放置治具的整体质量要轻，使得调节LED软基板与检测机构之间的相对位置相较于现有技术更加方便简单。

根据本发明的一些实施例，所述调节结构包括弹簧、限位杆和锁紧件，所述第二固定板上设置有至少两个第一通孔，所述限位杆穿过所述第一通孔与所述第二固定板间隙配合，所述限位杆的一端与所述第一固定板的下端面固定连接，所述弹簧套设在所述限位杆上，所述弹簧的一端与所述第一固定板的下端面抵接，所述弹簧的另一端与所述第二固定板的上端面抵接；所述锁紧件设置在所述限位杆超出所述第二固定板下端面的部分，所述锁紧件用于锁定所述限位杆与所述第二固定板之间的相对位置。

根据本发明的一些实施例，所述锁紧件通过在中部设置第二通孔形成环状结构，所述锁紧件的边沿处设置有缺口，所述缺口与所述第二通孔连通，所述缺口两侧的侧壁上分别设置有第三通孔和第四通孔，所述第三通孔和所述第四通孔用于穿过螺栓，所述锁紧件通过所述第二通孔套设在所述限位杆上，所述锁紧件的上端与所述第二固定板的下端面抵接。