[发明专利]一种槽棒自动抛光装置在审

专利信息
申请号: 202011039858.0 申请日: 2020-09-28
公开(公告)号: CN112142307A 公开(公告)日: 2020-12-29
发明(设计)人: 吴静立 申请(专利权)人: 辽宁拓邦鸿基半导体材料有限公司
主分类号: C03B29/00 分类号: C03B29/00
代理公司: 沈阳工匠智诚知识产权代理事务所(普通合伙) 21256 代理人: 于婷婷
地址: 113006 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 抛光 装置
【权利要求书】:

1.一种槽棒自动抛光装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上固定安装有石墨板(2),所述底座(1)上且位于石墨板(2)一侧固定安装有X轴滑台(3),所述X轴滑台(3)上固定安装有Y轴滑台(4),所述Y轴滑台(4)上,所述Y轴滑台(4)上固定安装有Z轴滑台(5),所述Z轴滑台(5)上固定安装有火焰喷灯(6)。

2.根据权利要求1所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述X轴滑台(3)、Y轴滑台(4)以及Z轴滑台(5)均为电动滑轨,所述Y轴滑台(4)固定安装于X轴滑台(3)移动端上,所述Z轴滑台(5)固定安装于Y轴滑台(4)移动端上,所述火焰喷灯(6)固定安装于Z轴滑台(5)移动端上。

3.根据权利要求2所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述X轴滑台(3)、Y轴滑台(4)以及Z轴滑台(5)的移动端与X轴滑台(3)、Y轴滑台(4)以及Z轴滑台(5)本体之间固定安装有拖链(8)。

4.根据权利要求2所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述X轴滑台(3)、Y轴滑台(4)以及Z轴滑台(5)分别通过导线与外接控制系统电控连接。

5.根据权利要求2所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述Z轴滑台(5)移动端与火焰喷灯(6)之间通过螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述火焰喷灯(6)输入端上固定安装有氢氧气接口(7)。

7.根据权利要求1所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述石墨板(2)与底座(1)之间通过螺纹连接,所述石墨板(2)上固定安装有若干结构相同的挡板(9),若干所述挡板(9)之间相互平行。

8.根据权利要求1所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述底座(1)与X轴滑台(3)之间通过螺纹连接。

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