[发明专利]一种槽棒自动抛光装置在审
申请号: | 202011039858.0 | 申请日: | 2020-09-28 |
公开(公告)号: | CN112142307A | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 吴静立 | 申请(专利权)人: | 辽宁拓邦鸿基半导体材料有限公司 |
主分类号: | C03B29/00 | 分类号: | C03B29/00 |
代理公司: | 沈阳工匠智诚知识产权代理事务所(普通合伙) 21256 | 代理人: | 于婷婷 |
地址: | 113006 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 抛光 装置 | ||
1.一种槽棒自动抛光装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上固定安装有石墨板(2),所述底座(1)上且位于石墨板(2)一侧固定安装有X轴滑台(3),所述X轴滑台(3)上固定安装有Y轴滑台(4),所述Y轴滑台(4)上,所述Y轴滑台(4)上固定安装有Z轴滑台(5),所述Z轴滑台(5)上固定安装有火焰喷灯(6)。
2.根据权利要求1所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述X轴滑台(3)、Y轴滑台(4)以及Z轴滑台(5)均为电动滑轨,所述Y轴滑台(4)固定安装于X轴滑台(3)移动端上,所述Z轴滑台(5)固定安装于Y轴滑台(4)移动端上,所述火焰喷灯(6)固定安装于Z轴滑台(5)移动端上。
3.根据权利要求2所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述X轴滑台(3)、Y轴滑台(4)以及Z轴滑台(5)的移动端与X轴滑台(3)、Y轴滑台(4)以及Z轴滑台(5)本体之间固定安装有拖链(8)。
4.根据权利要求2所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述X轴滑台(3)、Y轴滑台(4)以及Z轴滑台(5)分别通过导线与外接控制系统电控连接。
5.根据权利要求2所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述Z轴滑台(5)移动端与火焰喷灯(6)之间通过螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述火焰喷灯(6)输入端上固定安装有氢氧气接口(7)。
7.根据权利要求1所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述石墨板(2)与底座(1)之间通过螺纹连接,所述石墨板(2)上固定安装有若干结构相同的挡板(9),若干所述挡板(9)之间相互平行。
8.根据权利要求1所述的一种槽棒自动抛光装置,其特征在于,所述底座(1)与X轴滑台(3)之间通过螺纹连接。
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