[发明专利]带精密测量的可控升降装置以及包含其的光刻设备

权利要求书

1.一种带精密测量的可控升降装置，其特征在于，包括固定基座、导向座、移动组件、驱动组件，

其中，固定基座与导向座固定连接，在固定基座上安装有轴线竖向的导向套，

其中，移动组件包括：

升降头，

导向杆，上端具有与导向套同轴的安装孔，导向杆同轴穿过导向套，并且，导向杆上部与导向套，导向杆下部与固定基座、导向座之间都形成气浮接触面；

磁钢，磁钢、升降头依次装入导向杆的安装孔，使得升降头伸出导向套的上端部，

其中，驱动组件包括：

电机线圈和铁芯，铁芯同轴设置在导向杆与导向套之间的环形空间内，电机线圈缠绕在铁芯上，

其中，在移动组件中心同轴开设有穿透至升降头上端的气孔，在导向杆上设置有进气孔以及连通所述进气孔与所述气孔的气道，在固定基座上开设有气源孔和出气孔，所述气源孔与气源连通，所述出气孔通过软管与导向杆上的所述进气孔连通，通过气源孔向所述气孔提供正压或负压气体。

2.根据权利要求1所述的带精密测量的可控升降装置，其特征在于，移动组件还包括第一橡胶圈、支撑杆和固定套，所述固定套、支撑杆、第一橡胶圈、升降头依次连接装入到导向杆的安装孔中。

3.根据权利要求1所述的带精密测量的可控升降装置，其特征在于，在固定基座上开设有用于冷却所述电机线圈的冷却水槽，冷却水固定套围绕在固定基座的外围密封所述冷却水槽，在所述固定基座上设置有与冷却水槽连通的进水口和出水口。

4.根据权利要求1所述的一种带精密测量的可控升降装置，其特征在于，固定基座上设置有穿透固定基座至导向杆的光栅尺读数头安装孔，光栅尺读数头通过所述光栅尺读数头安装孔安装在固定基座上，在所述导向杆上设置有光栅尺。

5.根据权利要求1所述的一种带精密测量的可控升降装置，其特征在于，在导向杆上设置有竖向的限位槽，在所述固定基座上设置有限位杆安装孔，限位杆穿过所述限位杆安装孔并通过螺纹连接固定在导向座上，限位杆穿出导向座的端部插入在所述限位槽内，并且，限位杆穿出导向座的端部套设有第二橡胶圈。

6.根据权利要求1所述的一种带精密测量的可控升降装置，其特征在于，在导向杆上设置有两个进气孔以及由各进气孔分别与所述气孔连通的气道，在固定基座上开设有两个气源孔，一个气源孔与正压气源连通，另一个气源孔与负压气源连通，固定基座上还设置有两个出气孔，两个出气孔分别通过软管与导向杆上对应的进气孔连通。

7.根据权利要求2所述的一种带精密测量的可控升降装置，其特征在于，所述磁钢的上下两端分别设置有铁芯盘，并且，在上端的铁芯盘与固定套之间还设置有调整垫。

8.根据权利要求1所述的一种带精密测量的可控升降装置，其特征在于，所述导向杆包括圆柱体以及同轴连接于圆柱体下方的方块体，所述圆柱体的上部与导向套之间形成气浮接触面，所述方块体的相对的两侧面中的一侧是通过突出的相互平行的多个第一竖向平面与导向座之间形成气浮接触面，所述方块体的相对的两侧面中的另一侧是通过两个相对倾斜延伸的第二竖向平面与固定基座之间形成气浮接触面。

9.根据权利要求1所述的一种带精密测量的可控升降装置，其特征在于，固定基座上延伸出至少三个定位支杆，所有定位支杆的端部形成有共面的定位平面，且在定位平面上都设置有定位销孔。

10.一种光刻设备，包括承载硅片的承片台，其特征在于，还包括如权利要求1至9中任一项所述的带精密测量的可控升降装置，所述可控升降装置安装在所述承片台上。