[发明专利]一种氦气回收装置及方法

权利要求书

1.一种氦气回收装置，其特征在于，连接在超低温打压测试完成后的气瓶上，用于将混有氮气和氦气的混合气体中分离出氦气，为下一次打压测试做准备；它包括：

减压阀(1)、与所述减压阀(1)通过管道依次相连的第一温度控制器(2)和流量控制器(3)、与所述流量控制器(3)相连的压力传感器(4)、与所述压力传感器(4)相连的一级三通阀(5)、连接在所述一级三通阀(5)一端的一级膜分离器(6)、依次连接在所述一级膜分离器(6)上层的单向阀(7)、第一气体压缩机构(8)和氮气储存器(9)、通过管道依次连接在所述一级膜分离器(6)下层的第二气体压缩机构(10)和第二温度控制器(11)、与所述第二温度控制器(11)相连的二级三通阀(12)、分别连接在所述二级三通阀(12)两端的第一氦气检测器(13)和三级三通阀(14)、连接在所述三级三通阀(14)一端的二级膜分离器(15)、通过管道依次连接在所述二级膜分离器(15)下层的第三气体压缩机构(16)和第三温度控制器(17)、与所述第三温度控制器(17)相连的三级膜分离器(18)、连接在所述三级膜分离器(18)上层的四级三通阀(19)、连接在所述三级膜分离器(18)下层的五级三通阀(20)、依次连接在所述五级三通阀(20)一端的六级三通阀(21)和第二氦气检测器(22)以及依次连接在所述五级三通阀(20)另一端的冷凝机构(23)、第四气体压缩机构(24)和氦气储存器(25)；

所述二级膜分离器(15)的上层与所述一级三通阀(5)的另一端相连，所述六级三通阀(21)的另一端与所述四级三通阀(19)的一端相连，所述四级三通阀(19)的另一端与所述三级三通阀(14)的另一端相连；

所述膜分离器采用的分离膜为钴-硅膜。

2.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于：所述回收装置用到的管道的规格和型号通过管道的压力来决定。

3.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于：所述膜分离器上层的压力通过压力传感器(4)监控。

4.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于：所述膜分离器上层的压力通过调整膜的厚度和混合气体的流量进行调整。

5.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于：根据产品的要求决定分离气体的循环次数。

6.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于：所述冷凝机构(23)进一步冷凝所述三级膜分离器(18)分离的气体中的少量氮气。

7.根据权利要求6所述的氦气回收装置，其特征在于：所述冷凝机构(23)冷凝下的液氮通过抽真空移除。