[发明专利]一种快照式穆勒矩阵椭偏仪器件的方位角误差校准方法

权利要求书

1.一种快照式穆勒矩阵椭偏仪器件的方位角误差校准方法，其特征在于：

步骤S1，建立包含器件方位角误差的快照式穆勒矩阵椭偏仪的系统模型；

步骤S2，根据器件方位角误差的特点对系统模型进行约减；

步骤S3，通过测量标准样品以建立方位角误差与测量结果之间的关系，并且选出预定数量的线性无关的方程组；

步骤S4，由步骤S3选出的线性无关的方程组，初步求解各个器件的方位角误差；

步骤S5，将步骤S4所得的方位角误差拟合为不随测量波长变化的定值，以作为方位角误差的最终校准结果；

步骤S6，将步骤S5所求得的最终方位角误差代入至步骤S2所得的约减后的系统模型，以校正由方位角误差引起的穆勒矩阵测量误差。

2.如权利要求1所述的快照式穆勒矩阵椭偏仪器件的方位角误差校准方法，其特征在于：对于第i个器件的穆勒矩阵M_i，将其旋转一个微小的误差角度ε_i，则考虑方位角误差后的器件实际穆勒矩阵M_i′为：

M′_i＝R_M(-ε_i)M_iR_M(ε_i)，i＝1，2,3,4,5,6 (1-a)

其中，R_M表示坐标旋转矩阵。

3.如权利要求2所述的快照式穆勒矩阵椭偏仪器件的方位角误差校准方法，其特征在于：包含各个器件方位角误差的系统模型的表达式为：

S_out＝P′₂(α₂)R′₄(θ₄,δ₄)R′₃(θ₃,δ₃)MR′₂(θ₂,δ₂)R′₁(θ₁,δ₁)P₁(α₁)S_in (2)

＝R_M(-ε₆)P₂(α₂)R_M(ε₆)R_M(-ε₅)R₄(θ₄,δ₄)R_M(ε₅)

R_M(-ε₄)R₃(θ₃,δ₃)R_M(ε₄)MR_M(-ε₃)R₂(θ₂,δ₂)R_M(ε₃)

R_M(-ε₂)R₁(θ₁,δ₁)R_M(ε₂)R_M(-ε₁)P₁(α₁)R_M(ε₁)S_in

式中，P₁(α₁)、P₂(α₂)分别表示方位角为α₁的起偏器与方位角为α₂的检偏器的穆勒矩阵；R_t(θ_t,δ_t)(t＝1,2,3,4)分别表示第t片相位延迟器的穆勒矩阵，其方位角为θ_t，相位延迟量为δ_t；M为待测样品的穆勒矩阵；S_in与S_out分别表示入射光与出射光的斯托克斯矢量，通常S_in＝I₀[1 0 0 0]。