[发明专利]旋转驱动装置

说明书

本发明提供一种旋转驱动装置，其能够抑制基板的落下。旋转驱动装置(100)具备使保持基板的承载部(110)旋转的旋转机构，其特征在于，具备：框体(150)，所述框体(150)具有沿着承载部(110)保持的基板(10)的外周设置的外周框部(151)，在基板(10)从承载部(110)落下时，框体(150)承接基板(10)；以及往复移动机构(160)，所述往复移动机构(160)使框体(150)往复移动，以便能够变更框体(150)与承载部(110)的相对面间的距离。

技术领域

本发明涉及用于使基板旋转的旋转驱动装置。

背景技术

在用于通过蒸镀或溅射等进行成膜的装置中，已知有具备如下旋转驱动装置的技术，该旋转驱动装置在使基板吸附于具有静电装夹或粘着装夹等的功能的基板保持体的状态下，使基板与基板保持体一起反转(参照专利文献1)。

在这样的装置中，由于某些原因而导致基板保持体对基板的吸附力变得不充分，基板有可能从旋转驱动装置落下。而且，即使在采用利用机械保持件使基板保持于基板保持体的结构的情况下，也存在基板从保持件脱落而基板从旋转驱动装置落下的可能性。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：韩国专利第10-1586691号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明的目的在于提供一种能够抑制基板的落下的旋转驱动装置。

用于解决课题的方案

本发明为了解决上述课题而采用了以下的方案。

即，本发明的旋转驱动装置具备使保持基板的基板保持体旋转的旋转机构，其特征在于，

所述旋转驱动装置具备：

框体，所述框体具有沿着由所述基板保持体保持的基板的外周设置的外周框部，在基板从所述基板保持体落下时，所述框体承接该基板；及

往复移动机构，所述往复移动机构使所述框体往复移动，以便能够变更所述框体与所述基板保持体的相对面间的距离。

发明效果

如以上说明所述，根据本发明，能够抑制基板的落下。

附图说明

图1是本发明的实施例1的旋转驱动装置的概略结构图。

图2是本发明的实施例1的旋转驱动装置的概略结构图。

图3是本发明的实施例1的旋转驱动装置的动作说明图。

图4是从基于本发明的实施例1的旋转驱动装置的旋转动作后至进行成膜为止的工序的动作说明图。

图5是本发明的实施例1的旋转驱动装置的动作说明图。

图6是本发明的实施例2的旋转驱动装置的概略结构图。

图7是本发明的实施例2的旋转驱动装置的动作说明图。

附图标记说明

10 基板

20 掩模

30 蒸发源

100 旋转驱动装置

110 承载部

120 旋转轴

121 承载部载置构件

131 旋转驱动源

132 轴承