[发明专利]一种MEMS发声装置

权利要求书

1.一种MEMS发声装置，其特征在于，包括：

基座，包括上表面和与所述上表面相对设置的下表面，所述基座沿其厚度方向贯穿设有声腔，所述声腔包括位于所述上表面的上开口和位于所述下表面的下开口；

第一振膜，周缘固设于所述上表面，所述第一振膜包括中间球顶部，所述中间球顶部贯穿设有高频出音孔部；

第二振膜，周缘固设于所述下表面，所述第二振膜包括高频振动部和环绕所述高频振动部设置的低频振动部；

连接件，一端固设于所述第一振膜并环绕所述高频出音孔部设置，另一端固设于所述第二振膜并位于所述高频振动部的周缘；

高频驱动器，固设于所述高频振动部；以及

低频驱动器，固设于所述低频振动部。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS发声装置，其特征在于，所述第一振膜还包括固设于所述上表面的第一固定部以及连接所述第一固定部与所述中间球顶部的折环部，所述折环部的厚度小于所述中间球顶部的厚度。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS发声装置，其特征在于，所述高频出音孔部包括一个高频出音孔或者多个阵列设置的高频出音孔。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS发声装置，其特征在于，所述连接件为环形连接件，且其横截面呈正多边形、圆形以及椭圆形。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS发声装置，其特征在于，所述高频驱动器和所述低频驱动器分别安装于所述高频振动部和所述低频振动部远离所述第一振膜的表面上。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS发声装置，其特征在于，所述高频振动部与所述低频振动部之间采用弹性连接。

7.根据权利要求6所述的一种MEMS发声装置，其特征在于，所述高频振动部呈矩形且沿其对角线方向设有两条缝隙，两条所述缝隙将所述高频振动部分割成四块悬梁臂结构，四块所述悬梁臂结构临近所述低频振动部的角部位置与所述低频振动部连接。

8.根据权利要求7所述的一种MEMS发声装置，其特征在于，所述低频振动部呈环状矩形，沿所述低频振动部的对角线方向设有分隔槽，所述分隔槽将所述低频振动部等分成四份。

9.根据权利要求8所述的一种MEMS发声装置，其特征在于，所述缝隙的延伸方向与所述分隔槽的延伸方向重合。

10.根据权利要求8或9所述的一种MEMS发声装置，其特征在于，所述分隔槽的宽度为1um~50um。