[发明专利]数据存储系统及方法

说明书

本申请提供一种数据存储系统及方法，所述系统包括：服务器，能够远程存储数据，所述数据包括账料信息以及工艺参数文件；设备自动化控制系统，从所述服务器获取所述数据，所述设备自动化控制系统运行时：在物料到达生产设备后获取物料信息；根据所述物料信息从所述服务器中获取与所述物料信息对应的账料信息；根据所述账料信息从所述服务器中下载对应的工艺参数文件并指示生产设备生成所述工艺参数文件；根据所述物料信息、账料信息以及工艺参数文件，向生产设备下达生产指令；在生产完成后指示生产设备移除所述下载的工艺参数文件。可以提高所述工艺参数文件的保密性和安全性，同时不会影响工艺参数文件的正常使用。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种数据存储系统及方法。

背景技术

工艺参数文件是集成电路制造业生产加工时不可或缺的文件，而且工艺参数文件是集成电路制造业的核心知识产权，通常保存在生产设备端，对于访问权限的管理非常薄弱。如果采用将文件离线保存在远程服务器的方式，可以有效地阻止非授权的访问，是一种最高效的机密保护方式。在如今技术节点竞争激烈的行业背景下，这种方式的广泛采用是必要趋势。

然而，目前工艺参数文件离线保存的需求与在线应用的必要性之间存在矛盾，因此需要一种系统化的解决方案。

发明内容

本申请提供一种数据存储系统及方法，可以提高工艺参数文件的保密性和安全性，同时保证工艺参数文件的正常使用。

本申请的一个方面提供一种数据存储系统，包括：服务器，能够远程存储数据，所述数据包括账料信息以及工艺参数文件；设备自动化控制系统，从所述服务器获取所述数据，所述设备自动化控制系统运行时：在物料到达生产设备后获取物料信息；根据所述物料信息从所述服务器中获取与所述物料信息对应的账料信息；根据所述账料信息从所述服务器中下载对应的工艺参数文件并指示生产设备生成所述工艺参数文件；根据所述物料信息、账料信息以及工艺参数文件，向生产设备下达生产指令；在生产完成后指示生产设备移除所述下载的工艺参数文件。

在本申请的一些实施例中，所述账料信息包括所述物料加工需要的材料相关的数据。

在本申请的一些实施例中，所述数据存储系统还包括：选择模块，用于选择应用到所述数据存储系统的工艺参数文件，并将选择结果存储到所述服务器。

在本申请的一些实施例中，所述设备自动化控制系统还包括：第一判断模块，根据所述服务器中存储的选择结果判断是否下载工艺参数文件。

在本申请的一些实施例中，所述设备自动化控制系统还包括：第二判断模块，根据所述服务器中存储的选择结果判断是否移除工艺参数文件。

在本申请的一些实施例中，所述工艺参数文件为多个，所述多个工艺参数文件的下载方式为逐个下载。

在本申请的一些实施例中，所述工艺参数文件包括主文件以及位于所述主文件中的子文件，所述多个工艺参数文件的下载方式为：先下载子文件，再下载主文件。

在本申请的一些实施例中，所述工艺参数文件为多个，所述多个工艺参数文件的移除方式为逐个移除。

在本申请的一些实施例中，所述工艺参数文件包括主文件以及位于所述主文件中的子文件，所述多个工艺参数文件的移除方式为：先移除子文件，再移除主文件。

本申请的另一个方面还提供一种数据存储方法，包括，在物料到达生产设备后，通过数据存储系统中的设备自动化控制系统：获取物料信息；根据所述物料信息从服务器中获取与所述物料信息对应的账料信息，其中，所述服务器用于远程存储数据，所述数据包括所述账料信息以及工艺参数文件；根据所述账料信息从所述服务器中下载对应的工艺参数文件并指示生产设备生成所述工艺参数文件；根据所述物料信息、所述账料信息以及所述工艺参数文件，向生产设备下达生产指令；在生产完成后指示生产设备移除所述下载的工艺参数文件。