[发明专利]保持夹具

说明书

本发明提供一种保持夹具，其是用于对板状被处理物实施电镀处理的板状被处理物用保持夹具，板状被处理物配置在背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间，在正面部件上形成有覆盖板状被处理物的宽度方向上的边缘部的多个电极、和覆盖板状被处理物的宽度方向上的边缘部的多个第一绝缘部，在将板状被处理物的宽度方向上的边缘的长度、和开口部的宽度即与板状被处理物的宽度方向上的边缘平行的部分的长度相比，较短一方的长度设为100时，板状被处理物的宽度方向上的边缘的长度中80以上的部分被所述第一绝缘部或所述电极覆盖。本发明提供的保持夹具，其在对板状被处理物实施电镀处理时使用，可以降低附着在板状被处理物的边缘部的镀覆量。

技术领域

本发明涉及一种用于对板状被处理物实施电镀的板状被处理物用保持夹具，其中，所述板状被处理物被配置在背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间。

背景技术

在对板状的被处理物实施电镀时，例如，使用固定板状被处理物的保持夹具，将固定于该保持夹具的板状被处理物浸渍在液浴中，将该板状被处理物与阳极电极对置配置后，通过在板状被处理物与阳极电极之间通电电流来进行电镀。作为固定板状被处理物的保持夹具，例如使用具有背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件的保持夹具，上述板状被处理物被配置在背面部件与正面部件之间。

通过电镀形成的镀膜的厚度要求均匀。然而，镀膜的厚度受到板状被处理物与阳极电极之间的电场分布的影响，特别是，与板状被处理物接触的阴极电极的附近有镀膜比其他部分厚的倾向。作为使镀膜的膜厚均匀化的方法，已知为了控制电流的流动使电场分布均匀化，而在板状被处理物与阳极电极之间配置遮蔽板的方法。

在专利文献1中公开了带遮蔽板的基板保持件。该基板保持件具有开闭自如的前后的基板按压板，在基板保持件上设置遮蔽板，并且由非导电性树脂构成前后的按压板，并在按压板内埋设导通杆，朝向前后的按压板的内侧抵接面设置与导通杆连接的通电销，进而设置前后的按压板的夹紧机构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-161398号公报

发明内容

通过使用上述专利文献1记载的带遮蔽板的基板保持件，虽然可以使镀膜的膜厚均匀，但有时会在板状被处理物的边缘部附着有镀层。

本发明是着眼于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种对板状被处理物实施电镀时使用的保持夹具，该保持夹具可以降低附着在板状被处理物的边缘部的镀覆量。另外，本发明的另一目的在于，提供一种使用所述保持夹具对板状被处理物进行电镀的方法。

本发明包括以下发明。

[1]一种保持夹具，该保持夹具为用于对板状被处理物实施电镀处理的板状被处理物用保持夹具，所述板状被处理物配置在背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间，其中，在所述正面部件上形成有覆盖所述板状被处理物的宽度方向上的边缘部的多个电极、和覆盖所述板状被处理物的宽度方向上的边缘部的多个第一绝缘部，在将所述板状被处理物的宽度方向上的边缘的长度、和所述开口部的宽度即与所述板状被处理物的宽度方向上的边缘平行的部分的长度相比，较短一方的长度设为100时，所述板状被处理物的宽度方向上的边缘的长度中80以上的部分被所述第一绝缘部或所述电极覆盖。

[2]根据[1]所述的保持夹具，其中，所述第一绝缘部具有相对于所述背面部件凸出的凸部。

[3]根据[2]所述的保持夹具，其中，所述凸部设置在所述第一绝缘部的宽度方向整体上。

[4]根据[1]-[3]中任意一项所述的保持夹具，其中，所述电极与所述板状被处理物接触的一侧在电极的整个宽度方向上具有朝向该板状被处理物弯曲的曲部。