[发明专利]一种异形PBN和石英组合坩埚在审
| 申请号： | 202011048268.4 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112195506A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 罗福敏;胡昌勇 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B15/12;C30B29/42;C30B29/40 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 404040 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 异形 pbn 石英 组合 坩埚 | ||
1.一种异形PBN和石英组合坩埚，包括石英坩埚、PBN坩埚和石英帽，所述石英坩埚包括包覆腔和石英坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚包括原料腔和PBN坩埚籽晶腔，其特征在于：所述PBN坩埚和石英帽均设置于石英坩埚的内腔中，所述石英帽设置在靠近石英坩埚的开口一端，且所述石英帽的开口朝向PBN坩埚；所述石英坩埚籽晶腔包括第一籽晶腔段和第二籽晶腔段，所述第二籽晶腔段与PBN坩埚籽晶腔的外壁紧密贴合，所述石英坩埚的第一籽晶腔段和包覆腔与PBN坩埚之间设置有间隔区。
2.根据权利要求1所述的一种异形PBN和石英组合坩埚，其特征在于：所述石英坩埚的内壁上设置有第一台阶，所述PBN坩埚的内壁上设置有第二台阶，所述第二台阶的外壁与第一台阶的内壁紧密贴合。
3.根据权利要求2所述的一种异形PBN和石英组合坩埚，其特征在于：所述石英坩埚的包覆腔包括第一石英坩埚段和第二石英坩埚段，所述第一石英坩埚段、第二石英坩埚段、第一籽晶腔段和第二籽晶腔段依次连接且直径依次减小，所述第一台阶设置在第一石英坩埚段与第二石英坩埚段的连接处；所述PBN坩埚还包括第一PBN坩埚段，所述第一PBN坩埚段、原料腔和PBN坩埚籽晶腔依次连接且直径依次减小，所述第二台阶设置在第一PBN坩埚段与原料腔的连接处。
4.根据权利要求3所述的一种异形PBN和石英组合坩埚，其特征在于：所述第二石英坩埚段与第一籽晶腔段之间设置有石英坩埚锥形段，所述原料腔与PBN坩埚籽晶腔之间设置有PBN坩埚籽锥形段。
5.根据权利要求4所述的一种异形PBN和石英组合坩埚，其特征在于：所述第一PBN坩埚段的高度小于第一石英坩埚段的高度。
6.根据权利要求5所述的一种异形PBN和石英组合坩埚，其特征在于：所述石英帽的外径大于PBN坩埚的内径。
7.根据权利要求6所述的一种异形PBN和石英组合坩埚，其特征在于：所述PBN坩埚活动的设置在石英坩埚内。
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