[发明专利]MEMS扬声器

权利要求书

1.一种MEMS扬声器，其特征在于，所述MEMS扬声器包括MEMS发声单体，所述MEMS发声单体包括：

衬底，所述衬底呈环状结构，其包括相对的顶面和底面；

振动发声组件，所述振动发声组件包括振动膜和驱动器，所述振动膜包括固定于所述顶面的第一振动膜和固定于所述底面并与所述第一振动膜间隔平行设置的第二振动膜，所述第一振动膜、所述第二振动膜及所述衬底共同围成封闭的衬底空腔；所述驱动器包括固定于所述第一振动膜以驱动所述第一振动膜振动发声的第一驱动器以及固定于所述第二振动膜以驱动所述第二振动膜振动发声的第二驱动器；以及，

声孔，所述声孔贯穿所述衬底并将所述衬底空腔与外界连通；所述第一驱动器驱动所述第一振动膜产生的在所述衬底空腔内的声波和所述第二驱动器驱动所述第二振动膜产生的在所述衬底空腔内的声波叠加后经所述声孔传出。

2.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述第一驱动器贴合于所述第一振动膜远离所述衬底空腔的一侧，所述第二驱动器贴合于所述第二振动膜远离所述衬底空腔的一侧。

3.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述MEMS发声单体还包括沿所述振动方向同时贯穿所述第一驱动器与所述第一振膜，和/或同时贯穿所述第二驱动器与所述第二振膜的狭缝。

4.根据权利要求3所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述振动膜和所述驱动器均呈矩形，所述第一驱动器与所述第一振膜上开设有至少两条所述狭缝，两条所述狭缝分别沿所述第一驱动器的两条对角线延伸并交叉，和/或所述第二驱动器与所述第二振膜上开设有至少两条所述狭缝，两条所述狭缝分别沿对应的所述第一驱动器或对应的所述第二驱动器的两条对角线延伸并相互交叉。

5.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，至少两个所述驱动器的固有频率相异。

6.根据权利要求5所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述第一驱动器包括至少两个且相互间隔设置，所述第二驱动器包括一个，且所述第一驱动器的平面尺寸小于所述第二驱动器的平面尺寸。

7.根据权利要求6所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述衬底包括具有所述顶面的上衬底和具有所述底面的下衬底，所述上衬底远离所述顶面的一端抵接于所述下衬底远离所述底面的一端，所述衬底还包括由所述上衬底的内侧朝向所述衬底空腔延伸形成的延伸壁，所述延伸壁设有沿所述振动方向贯穿其上的至少两个通孔，每一所述第一驱动器分别正对一所述通孔设置。

8.根据权利要求7所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述通孔包括四个且呈矩阵排布，所述第一驱动器包括四个且与四个所述通孔一一对应设置。

9.根据权利要求7所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述声孔同时贯穿所述上衬底和所述下衬底。

10.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述MEMS扬声器还包括具有收容空间的壳体，所述壳体包括呈环状的侧壁、连接于所述侧壁相对两端并与所述侧壁共同围成收容空间的上盖和下盖、位于所述收容空间内并连接所述侧壁相对两侧的支撑壁；所述支撑壁将所述收容空间分隔成第一腔和第二腔，且所述支撑壁的上端和下端分别与所述上盖及所述下盖间隔围成上通道和下通道；所述MEMS发声单体收容于所述第一腔内，所述MEMS发声单体的侧面分别固定于所侧壁和所述支撑壁，并将所述第一腔分隔成第一上腔和第一下腔，所述第一上腔通过所述上通道与所述第二腔连通，所述第一下腔通过所述下通道与所述第二腔连通；所述支撑壁还设有贯穿其上的中通道，所述中通道将所述声孔与所述第二腔连通；所述侧壁还设有贯穿其上的出音孔，所述出音孔将所述第二腔与外界连通。

11.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动器为压电换能器，其包括压电膜和分别贴合于所述压电膜相对两侧的电极板，其中一所述电极板贴合于所述振动膜。