[发明专利]光罩箱、保管装置及方法、搬送装置及方法、及曝光装置

权利要求书

1.一种光罩箱，其由第一箱部和第二箱部构成，所述第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，所述第二箱部设置为能够相对于第一箱部装拆且具有与所述底面相对配置的上表面，所述光罩箱的特征在于：

所述第一箱部在所述底面且在与所述支承部相对的位置具有使来自外部的光通过的光通过部，

所述第二箱部在与所述第一箱部的所述光通过部相对的位置具有将从所述光通过部入射的光向所述光通过部反射的反射部。

2.如权利要求1所述的光罩箱，其特征在于：

还包括设置在所述第一箱部且将来自外部的光反射的反射部件。

3.一种光罩箱，其由第一箱部和第二箱部构成，所述第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，所述第二箱部设置为能够相对于第一箱部装拆且具有与所述底面相对配置的上表面，所述光罩箱的特征在于：

所述第一箱部在所述底面且在与所述支承部相对的位置具有使来自外部的光通过的光通过部，且在不与所述光通过部重合的位置具有将来自外部的光反射的反射部件。

4.如权利要求1至3中任一项所述的光罩箱，其特征在于：

所述支承部规定将所述第一箱部和所述第二箱部搬送至保管所述光罩箱的保管装置的第一方向上的所述光罩的端部的位置，

所述光通过部设置在与所述支承部相对的位置。

5.如权利要求1至4中任一项所述的光罩箱，其特征在于：

所述光通过部相对于所述第一箱部的底面倾斜地设置。

6.如权利要求1至5中任一项所述的光罩箱，其特征在于：

所述光通过部设置于在所述第二箱部被安装于所述第一箱部且所述光罩被收纳在所述第一箱部和所述第二箱部的状态下能够观察到所述光罩和所述第二箱部的位置。

7.如权利要求2所述的光罩箱，其特征在于：

在从设置有所述光通过部一侧观察所述光罩箱时，以所述第一箱部的所述反射部件、所述光罩、所述第二箱部的所述反射部的顺序排列设置。

8.如权利要求2或7所述的光罩箱，其特征在于：

所述第一箱部的所述反射部件和所述第二箱部的所述反射部中的至少一者为偏振片。

9.一种搬送装置，搬送光罩箱，其特征在于，包括：

箱支承部，其支承权利要求1、2、7、8中任一项所述的光罩箱；

照射部，其向所述光罩箱照射光束；和

检测部，其检测向所述光罩箱照射的所述光束。

10.如权利要求9所述的搬送装置，其特征在于：

所述照射部对所述光罩箱的所述光通过部照射所述光束，

所述检测部检测向所述光通过部照射的所述光束。

11.如权利要求9或10所述的搬送装置，其特征在于：

在基于由所述检测部检测到的检测结果为所搬送的光罩不是所期望的光罩的情况下、或搬送了没有光罩的光罩箱的情况下，不进行所述光罩箱的搬送。

12.如权利要求9至11中任一项所述的搬送装置，其特征在于：

在基于由所述检测部检测到的检测结果为所搬送的光罩不是所期望的光罩的情况下、或搬送了没有光罩的光罩箱的情况下，将所述光罩箱退回至保管所述光罩箱的保管装置的暂时收容部。

13.如权利要求9至12中任一项所述的搬送装置，其特征在于：

所述检测部具有：

第一检测部，其对所述光罩箱照射光，并检测来自所述光罩箱的反射光来检测所述光罩箱的状态；和

第二检测部，其经由设置在所述光罩箱的所述光通过部对收纳在所述光罩箱的所述光罩照射光，并经由所述光通过部检测来自所述光罩的反射光。