[发明专利]一种带通滤光片有效
| 申请号： | 202011053182.0 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112130241B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 苏炎;李昱;陈居凯 | 申请（专利权）人： | 苏州众为光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 孔凡玲 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 滤光 | ||
1.一种带通滤光片，包括基层和堆叠在基层上的膜系，其特征在于，所述膜系的膜系结构包括若干个法布里-帕罗腔及连接层；所述法布里-帕罗腔的结构为：aHLHL2HLHLH、bHLHLHLHL2HLHL3HLHLH、cHLHLHL2HLHLHLH、dHLHL2HLHLA，其中，dHLHL2HLHLA为最后一层法布里-帕罗腔；最后一层法布里-帕罗腔包括连接层；
H为四分之一中心波长光学厚度的高折射率层，L为四分之一中心波长光学厚度的低折射率层；2H为两个四分之一中心波长光学厚度，A为非四分之一光学厚度的高折射率层；a、b、c、d为每个所述法布里-帕罗腔的第一个高折射率层的四分之一中心波长光学厚度的系数；
所述a、b、c、d为0.974-1.009，所述法布里-帕罗腔的第一个高折射率层的四分之一中心波长光学厚度为0.974-1.009个四分之一波长的光学厚度，以使此层结束时的透过率达到极值；
所述法布里-帕罗腔之间通过所述连接层级联，所述连接层为非四分之一波长的光学厚度的低折射率层；
所述连接层的光学厚度为0.675-2.450中的非整数个四分之一波长的光学厚度。
2.如权利要求1的带通滤光片，其特征在于，所述法布里-帕罗腔的第一个高折射率层的四分之一中心波长光学厚度的系数通过上一个所述法布里-帕罗腔的最后一层的光学厚度优化得出。
3.如权利要求1的带通滤光片，其特征在于，在镀膜监控中采用极值法监控，以便接下来的每一层四分之一波长的光学厚度的膜层都可以采用极值法监控。
4.如权利要求1的带通滤光片，其特征在于，所述滤光片在入射角度为0-13.5度下，波长的插损随波长线性地递增或递减。
5.如权利要求1的带通滤光片，其特征在于，所述滤光片在1304.5-1317nm波段范围内的插损以斜率0.3846dB/nm从-5dB递增至-0.2dB。
6.如权利要求1的带通滤光片，其特征在于，所述法布里-帕罗腔的数量为9个。
7.如权利要求1的带通滤光片，其特征在于，所述高折射率层的材料为Ta2O5、Nb2O5、TiO2中的至少之一，所述高折射率层的折射率在1304.5-1317nm的范围为1.85至2.5。
8.如权利要求1的带通滤光片，其特征在于，所述低折射率层的材料为SiO2、Al2O3、MgF2中的至少之一，所述低折射率层的折射率在1304.5-1317nm的范围为1.38至1.6。
9.如权利要求1的带通滤光片，其特征在于，所述基层为二氧化硅材料或硅材料基片，基层的折射率在1304.5-1317nm的范围为1.45至3.5。
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