[发明专利]一种用于湿法刻蚀的带液滚轮及湿法刻蚀方法

说明书

本发明涉及一种用于湿法刻蚀的带液滚轮及其湿法刻蚀方法，属于太阳能电池制作技术领域，解决了现有技术中太阳能电池制作过程中滚轮水平异常的问题。本发明的用于湿法刻蚀的带液滚轮包括第一端轴(110)、第二端轴(120)和带液轴(130)，第一端轴(110)和第二端轴(120)分别位于带液轴(130)的两端，第一端轴(110)、第二端轴(120)与带液轴(130)同心设置，第一端轴(110)和第二端轴(120)的直径均能够调节。本发明的带液轴的两端轴直径可调，当带液滚轮两端磨损或刻蚀槽加工精度导致的滚轮水平异常时，保证带液滚轮在支架上的水平状态，在保证太阳能电池刻蚀过程质量的同时，大大降低湿法刻蚀设备的运行成本。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制作技术领域，尤其涉及一种用于湿法刻蚀的带液滚轮及湿法刻蚀方法。

背景技术

近年来，太阳能电池片生产技术不断进步，生产成本不断降低，电池效率不断提高，使光伏发电的应用日益普及并发展迅猛，逐渐成为电力供应的重要来源。刻蚀是制备硅太阳能电池片的重要工序，其目的是去除PN结和电池正面的磷硅玻璃，刻蚀的好坏直接影响电池片的转换效率。当前硅片的刻蚀方法主要包括干法和湿法刻蚀，其中湿法刻蚀的生产过程为：经扩散后的硅太阳能电池片，利用刻蚀槽的HNO₃、HF混合酸液对硅片的下表面和边缘进行腐蚀，从而达到边缘绝缘化。

现有湿法刻蚀工艺通常由一系列槽体模块连接而成，依次为刻蚀槽→水洗1槽→碱槽→水洗2槽→酸槽→水洗3槽→烘干。适用于湿法刻蚀工艺的湿法刻蚀设备，目前大多采用滚轮传动方式，湿法刻蚀设备上，带液滚轮两端的轴通常是直接穿插在支架孔内，实现滚轮转动，从而实现硅片从上料传送到下料；长期使用后，滚轮的直径会因磨损变小，导致运转硅片运输过程无法水平移动，影响太阳能电池片的刻蚀质量，同时，上表面覆盖的水膜也会因滚轮的不平整，会滑落至化学品溶液中，导致浓度异常，也会影响刻蚀效果；刻蚀槽支架的加工精度及滚轮的加工精度偏差，会使得个别的滚轮水平存在异常，影响整体的刻蚀效果。

发明内容

鉴于上述的分析，本发明实施例旨在提供一种用于湿法刻蚀的带液滚轮及湿法刻蚀方法，用以解决现有太阳能电池制作过程中滚轮水平异常的问题。

一方面，本发明提供了一种用于湿法刻蚀的带液滚轮，包括第一端轴、第二端轴和带液轴，第一端轴和第二端轴分别位于带液轴的两端，第一端轴、第二端轴与带液轴同心设置，第一端轴和第二端轴的直径均能够调节。

进一步，所述第一端轴包括多个第一楔形件、多个第二楔形件、第一制动器、第二制动器和第一中心轴。

进一步，所述第一制动器和第二制动器均套设在第一中心轴上，所述第一制动器与第一楔形件连接，所述第二制动器和第二楔形件连接，所述第一中心轴的一端与所述带液轴的中心孔连接。

进一步，所述第二端轴包括多个第三楔形件、多个第四楔形件、第三制动器、第四制动器和第二中心轴。

进一步，所述第三制动器和第四制动器均套设在第二中心轴上，所述第三制动器与第三楔形件连接，所述第四制动器与第四楔形件连接，所述第二中心轴的一端与带液轴的中心孔连接。

进一步，所述第一楔形件和第二楔形件交错设置，所述第一楔形件的侧面与第二楔形件的侧面始终接触，所述第三楔形件和第四楔形件交错设置，所述第三楔形件的侧面和第四楔形件的侧面始终接触。

进一步，所述第一制动器和第二制动器能够沿第一中心轴相对移动。

进一步，所述第一楔形件能够沿第一制动器的径向移动，所述第二楔形件能够沿第二制动器的径向移动。

进一步，所述第三制动器和第四制动器能够沿第二中心轴相对移动。

进一步，所述第三楔形件能够沿第三制动器的径向移动，所述第四楔形件能够沿第四制动器的径向移动。