[发明专利]一种掩膜版传输方法

权利要求书

1.一种掩膜版传输方法，其特征在于，采用机械手进行搬运，所述机械手包括至少两个第一方向具有预设距离的版叉；每个所述版叉包括m组对称分布的吸盘，每组吸盘包括至少一个所述吸盘，各所述吸盘沿第二方向等间距排列，所述第一方向和所述第二方向垂直；所述掩膜版传输方法包括：

根据所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向选取所述版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附并控制所述机械手将所述掩膜版从所述托盘传输至所述旋转台的第一位置；

控制所述机械手沿所述旋转台指向所述托盘的方向缩回运动第一距离，所述第一距离最大为所述版叉的最外侧两个所述吸盘的最外侧距离；

沿所述旋转台指向所述托盘的方向，选取所述版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在所述旋转台的第一位置处的所述掩膜版进行吸附，并控制所述机械手沿所述托盘指向所述旋转台的方向将所述掩膜版从所述旋转台的第一位置传输至所述旋转台的第二位置，所述第二位置为夹爪交接位；

其中，m和n均为整数且n≤m。

2.根据权利要求1所述的掩膜版传输方法，其特征在于，沿所述托盘指向所述旋转台的方向，所述根据所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向选取所述版叉的第1组至第n组吸盘，对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附并控制所述机械手将所述掩膜版从所述托盘传输至所述旋转台的第一位置，包括：

所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸B为(1.5d)mm≤B(M+20)mm时，选取沿所述托盘指向所述旋转台的方向的所述第1组吸盘，对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附，其中，d表示所述吸盘的直径，M表示沿所述托盘指向所述旋转台的方向，所述第1组吸盘和所述第2组吸盘的中心间距；

所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸B为(A0+20)mm≤B(A1+20)mm时，其中，A0为沿所述托盘指向所述旋转台的方向，所述第1组吸盘至所述第n组吸盘中距离所述第1组吸盘最远吸盘的中心距离，A1为所述第1组吸盘至第n+1组吸盘中距离所述第1组吸盘最远吸盘的中心距离，选取所述版叉的所述第1组吸盘至所述第n组吸盘，对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附；

控制所述机械手将所述掩膜版从所述托盘传输至所述旋转台的第一位置。

3.根据权利要求1所述的掩膜版传输方法，其特征在于，所述根据所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸，沿托盘指向旋转台的方向，选取所述版叉的第1组至第n组吸盘对放置在所述托盘上的所述掩膜版进行吸附并控制所述机械手将所述掩膜版从所述托盘传输至所述旋转台的第一位置，包括：

根据所述掩膜版沿所述第二方向的尺寸，确定沿所述托盘指向所述旋转台的方向，对所述掩膜版进行吸附的所述版叉的所述第1组至所述第n组吸盘；

控制所述机械手沿所述托盘指向所述旋转台的方向，运行第二距离以使沿所述托盘指向所述旋转台的方向的所述第1组至所述第n组吸盘中最外侧两个所述吸盘的最外侧连线的中心线与所述掩膜版的第二方向尺寸的中心线重合；

控制沿所述托盘指向所述旋转台的方向，所述版叉的所述第1组至所述第n组吸盘沿竖直方向向所述掩膜版运动并对所述掩膜版吸附；其中，所述第一方向和所述第二方向均为水平方向；

控制所述机械手将吸附的所述掩膜版沿所述托盘指向所述旋转台的方向继续运行第三距离以达到所述旋转台的第一位置。

4.根据权利要求3所述的掩膜版传输方法，其特征在于，所述第二距离根据如下公式进行计算：

S1=(D-L1-C)mm，

其中，S1表示所述第二距离，D表示沿所述托盘指向所述旋转台方向第一个所述吸盘中心到所述托盘中心的距离，L1表示所述掩膜版处于初始位置时沿第二方向尺寸的中心线与所述托盘中心线的距离，C表示所述托盘指向所述旋转台的方向第一个所述吸盘至所述第n组吸盘中距离第一个所述吸盘距离最远吸盘中心间距的一半；

所述第三距离的计算公式如下：

S2=(E-S1)mm，

其中，S2表示所述第三距离，E表示所述机械手的最大行程。

5.根据权利要求3所述的掩膜版传输方法，其特征在于，所述掩膜版的初始位置为沿所述第二方向，所述掩膜版的边缘与所述托盘的边缘齐平。