[发明专利]一种仿猪笼草结构的超疏水高疏油表面的制备方法

权利要求书

1.一种仿猪笼草结构的超疏水高疏油表面的制备方法，其特征在于，该方法的具体步骤如下：

a)在衬底表面旋涂高分子层，然后在所述高分子层上沉积二氧化硅层；

b)将聚苯乙烯和含硅的紫外光固化胶以一定比例溶解在甲苯中，待充分溶解形成共混相分离溶液；将所述溶液以一定转速旋涂在所述二氧化硅层上，发生相分离，得到共混薄膜；

c)利用反应离子刻蚀技术，用O₂等离子体在一定流量和一定功率下刻蚀除去共混薄膜中的聚苯乙烯，即除去连续相，留下含硅的紫外光固化胶，再使用O₂和CHF₃两种气体去除少量残余在底部的含硅的紫外光固化胶；然后继续向下刻蚀二氧化硅层和高分子层，在衬底上形成纳米柱阵列结构；

d)在具有纳米柱阵列结构的衬底上蒸镀金属，经超声举离处理后得到孔阵结构，再以金属为掩模利用反应离子刻蚀技术向下刻蚀衬底，而后利用溶液去除附着金属，在基底上得到无序纳米圆孔阵列；

e)在真空体系中，用全氟烷基氯硅烷对步骤d)获得的表面进行防粘处理后，填充低表面能、无毒害的润滑液，获得超疏水高疏油表面。

2.根据权利要求1所述的一种仿猪笼草结构的超疏水高疏油表面的制备方法，其特征在于，所述步骤a)中，衬底采用硅或者玻璃。

3.根据权利要求1所述的一种仿猪笼草结构的超疏水高疏油表面的制备方法，其特征在于，所述步骤a)中，高分子层为聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇或聚乙烯基吡咯烷酮。

4.根据权利要求1所述的一种仿猪笼草结构的超疏水高疏油表面的制备方法，其特征在于，所述步骤b)中，聚苯乙烯和含硅的紫外光固化胶的比例为5:1至9:1，旋涂转速采用3000转/分钟，旋涂时间为40s。

5.根据权利要求1所述的一种仿猪笼草结构的超疏水高疏油表面的制备方法，其特征在于，所述步骤c)中，O₂等离子体的流量为10sccm，功率为40W，刻蚀时间为250s；二氧化硅层的刻蚀速率为0.1-0.5nm/s，高分子层的刻蚀速率为1.5-4nm/s。

6.根据权利要求1所述的一种仿猪笼草结构的超疏水高疏油表面的制备方法，其特征在于，所述步骤d)中，圆孔的孔径在20nm至200nm的范围内可调，孔深在100nm至400nm可调。

7.根据权利要求1所述的一种仿猪笼草结构的超疏水高疏油表面的制备方法，其特征在于，所述步骤d)中，蒸镀的金属为Cr或Ni。

8.根据权利要求1所述的一种仿猪笼草结构的超疏水高疏油表面的制备方法，其特征在于，所述步骤e)中，润滑液为卜氟胺、硅油或矿油。