[发明专利]冷凝器及半导体制程机台

说明书

本公开是关于一种冷凝器及半导体制程机台，涉及集成电路技术领域。该冷凝器包括：密封腔体；其中，所述密封腔体的内部设置有气流通道；所述气流通道的周围填充有冷却液；所述密封腔体上设置有进气口、出气口和排液口，所述进气口与所述气流通道的入口连通，所述出气口与所述气流通道的出口连通，所述排液口与所述气流通道连通；所述气流通道为特斯拉阀结构通道。本公开可以提高气体与冷却液的接触面积，提高冷凝器的冷凝效果。

技术领域

本公开涉及集成电路技术领域，具体而言，涉及一种冷凝器及半导体制程机台。

背景技术

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。

在半导体制程机台中，光刻胶经过高温烘烤后，会变成光刻胶蒸汽并从排气管排出。为了防止光刻胶沉积在排气管内，通常需要在进入排气管之前，通过冷凝器对光刻胶蒸汽进行冷凝收集。

然而，现有的冷凝器冷凝效果较差。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种冷凝器及半导体制程机台，进而至少在一定程度上克服冷凝器的冷凝效果较差的问题。

本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本发明的实践而习得。

根据本公开的第一方面，提供一种冷凝器，包括：密封腔体；其中，

所述密封腔体的内部设置有气流通道；

所述气流通道的周围填充有冷却液；

所述密封腔体上设置有进气口、出气口和排液口，所述进气口与所述气流通道的入口连通，所述出气口与所述气流通道的出口连通，所述排液口与所述气流通道连通；

所述气流通道为特斯拉阀结构通道。

可选的，所述密封腔体包括：密封连接的第一腔体和第二腔体；其中，

所述第一腔体的内部间隔设置有多个凸起部；

所述第二腔体的内部设置有容纳腔；

多个所述凸起部嵌入所述容纳腔中形成所述特斯拉阀结构通道。

可选的，多个所述凸起部沿所述特斯拉阀结构通道的中心线两侧间隔交错排列。

可选的，所述凸起部包括第一端和第二端；其中，

所述第一端的纵截面面积小于所述第二端的纵截面面积；

所述第一端朝向所述特斯拉阀结构通道的出口设置。

可选的，所述凸起部的内部填充有冷却液。

可选的，所述第二腔体还包括外壳，所述外壳的内部设置有所述容纳腔，所述容纳腔的腔壁与所述外壳之间填充有所述冷却液。

可选的，所述第一腔体和所述第二腔体上均设置有冷却水进口和冷却水出口。

可选的，所述第一腔体为上腔体，所述第二腔体为下腔体；

所述进气口和所述出气口设置在所述第一腔体上；

所述排液口设置在所述第二腔体上。

可选的，所述凸起部与所述容纳腔的底壁密封连接。

可选的，所述排液口处设置有排液管，所述排液管的外壁上设置有温度调节模块。