[发明专利]一种可调内孔检具

说明书

本发明应用于IC装备制造领域，具体是一种可调内孔检具，包括固定主体和活动体，固定主体一端设有圆环形结构，另一端为平面结构，在固定主体上设有方形开口槽，方形开口槽贯穿设有螺纹孔，活动体通过螺杆与固定主体螺合连接，将浅的零件内径转换成外径，便于精准测量。本发明通过可调外径调整检具大小，撑紧零件内孔并用螺帽锁紧，取出检具用外径千分尺测量，本发明可有效解决内孔深度过浅，内径千分尺无法测量的问题。

技术领域

本发明是一种可调内孔检具，应用于IC装备制造领域。

背景技术

IC装备制造领域，内孔的测量方法很多，但对于深度较浅的内孔往往无法测量，或检具笨重不便于检测，而且检测精度低，无法达到精度要求。

发明内容

针对以上问题，本发明的目的是发明一种可调内孔检具，过可调外径调整检具大小，撑紧零件内孔并用螺帽锁紧，取出检具用外径千分尺测量。

本发明的目的是通过如下技术方案实现的：

一种可调内孔检具，包括固定主体和活动体，固定主体一端设有圆环形结构，另一端为平面结构，在固定主体上设有方形开口槽，方形开口槽贯穿设有螺纹孔，活动体通过螺杆与固定主体螺合连接，将浅的零件内径转换成外径，便于精准测量。

在活动体的螺杆上设有定位螺栓。

固定主体和活动体的厚度大于零件壁厚。

本发明的有益效果是：

1、本发明将过浅的内径转换成外径，便于测量。测量方法简便，实用，可应用范围广，测量精度高。

2、本发明可以将检具直接在零件上锁紧，在零件与检具不分开的状态下直接测量，提高检测精度。

附图说明

图1为待测量工件。

图2为可调内孔检具。

图3为检测示意图。

具体实施方式

下面结合附图1-3及实例对本发明进行详细描述。

一种可调内孔检具，包括固定主体1和活动体3，固定主体1一端设有圆环形结构，另一端为平面结构，在固定主体1上设有方形开口槽2，方形开口槽2贯穿设有螺纹孔，活动体3通过螺杆与固定主体1螺合连接，将浅的零件内径转换成外径，便于精准测量。

在活动体3的螺杆上设有定位螺栓。

固定主体1和活动体3的厚度大于零件壁厚。

通过可调外径调整检具大小，撑紧零件内孔并用螺帽锁紧，取出检具用外径千分尺测量，本发明可有效解决内孔深度过浅，内径千分尺无法测量的问题。