[发明专利]MIM电容的等效电路、MIM电容等效电路的参数获取方法

说明书

本发明公开了一种MIM电容的等效电路、MIM电容等效电路的参数获取方法。所述等效电路包括：第一电容；第一电阻；第一电感、第二电感及第二电阻，第一电容的第一端与等效电路的第一端电连接，第二端与第一电感的第一端电连接，第一电感的第二端与第一电阻的第一端电连接，第一电阻的第二端与等效电路的第二端电连接；第二电阻的第一端与第一电阻的第一端电连接，第二端与第二电感的第一端电连接，第二电感的第二端与第一电阻的第一端电连接；第二电容、第三电容和第三电阻；第二电容的第一端与第一电容的第一端电连接，第二端与第三电容的第一端电连接；第四电容、第五电容和第四电阻；第四电阻与第五电容并联。本发明实施例等效电路的拟合精度较高。

技术领域

本发明实施例涉及电容等效电路提取技术，尤其涉及一种MIM电容的等效电路、MIM电容等效电路的参数获取方法。

背景技术

随着无线通信和集成电路的发展，集成无源元件在单片微波电路(MMIC)中得到了广泛的应用。在这之中，金属-绝缘体-金属(Metal-Insulator-Metel，MIM)电容的等效电路的建立以及仿真对MMIC的设计起着重要的作用。

然而，现有的MIM电容的等效电路存在拟合精度不足的问题，利用等效电路得到的MIM电容的参数，如S参数等与MIM电容实际的S参数存在较大差异。

发明内容

本发明提供一种MIM电容的等效电路、MIM电容等效电路的参数获取方法，以提高MIM电容的等效电路的拟合精度。

第一方面，本发明实施例提供了一种MIM电容的等效电路，所述等效电路包括：

第一电容，所述第一电容用于表征所述MIM电容的本征电容；

第一电阻，所述第一电阻用于表征所述MIM电容两个极板的寄生电阻；

第一电感、第二电感及第二电阻，所述第一电容的第一端与所述等效电路的第一端电连接，所述第一电容的第二端与所述第一电感的第一端电连接，所述第一电感的第二端与所述第一电阻的第一端电连接，所述第一电阻的第二端与所述等效电路的第二端电连接；所述第二电阻的第一端与所述第一电阻的第一端电连接，所述第二电阻的第二端与所述第二电感的第一端电连接，所述第二电感的第二端与所述第一电阻的第一端电连接；

第二电容、第三电容和第三电阻；所述第二电容的第一端与所述第一电容的第一端电连接，所述第二电容的第二端与所述第三电容的第一端电连接，所述第三电容的第二端接地，所述第三电阻与所述第三电容并联；

第四电容、第五电容和第四电阻；所述第四电容的第一端与所述第一电阻的第二端电连接，所述第四电容的第二端与所述第五电容的第一端电连接，所述第五电容的第二端接地，所述第四电阻与所述第五电容并联。

可选地，所述等效电路还包括：

第一馈线电感和第二馈线电感；

所述第一电容的第一端通过所述第一馈线电感与所述等效电路的第一端电连接；

所述第一电阻的第二端通过所述第二馈线电感与所述等效电路的第二端电连接。

第二方面，本发明实施例还提供了一种MIM电容等效电路的参数获取方法，所述方法包括：

制备预设尺寸的MIM电容；

测试获取所述MIM电容的S参数；

建立MIM电容的等效电路，其中，所述MIM电容的等效电路为权利要求1-2任一项所述的等效电路；

根据所述MIM电容的S参数及预设公式计算所述等效电路中各元器件的参数，其中，所述元器件包括所述第一电容、所述第一电阻、所述第一电感、所述第二电容、所述第三电容、所述第三电阻、所述第四电容、所述第五电容以及所述第四电阻。