[发明专利]一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置

说明书

本发明公开一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置，涉及准分子激光器放电腔用涂层制造技术领域，以解决零件被卤素工作气体腐蚀生成有害气体以及放电产生的声波、激波引起放电环境不稳定的问题，从而影响激光器的输出性能的问题。所述零件涂层制备装置，包括：真空样品室，送粉装置，用于向真空样品室内的零件表面提供涂层粉末。涂层粉末的材质至少包括高熵合金。激光成形装置，用于对送粉装置提供的涂层粉末进行成形处理，得到零件涂层，所述零件涂层至少包括致密涂层和形成于致密涂层上的多孔涂层。所述零件涂层制备方法包括上述技术方案所提的零件涂层制备装置。本发明提供的零件涂层制备装置用于制备零件涂层。

技术领域

本发明涉及准分子激光器放电腔用涂层制造技术领域，尤其涉及一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置。

背景技术

准分子激光器是紫外波段重要的激光器件，依靠受激混合气体形成的分子向基态跃迁产生激光。但是混合气体中的卤素气体具有强腐蚀性，会与准分子激光器放电腔及其内部零件发生反应，造成准分子激光器放电腔表面污染并释放有害气体。严重影响准分子激光器放电腔的化学稳定性，影响激光器的输出性能。

另一方面，准分子激光器放电过程中会产生激波和声波。部分激波和声波会被阻挡结构反射回放电区，引起放电区气压梯度变化，降低放电区内工作气体的均匀性，进而影响准分子激光器输出能量的稳定性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置，用于在零件表面制备零件涂层，防止由于声波和激波的影响，造成工作气体不均匀以及零件在使用过程中被污染，从而影响激光器的输出性能的问题。

第一方面，本发明提供一种零件涂层制备装置，包括：真空样品室，用于为零件提供真空容置环境。与真空样品室连接的送粉装置，用于向真空样品室内的零件表面提供涂层粉末。涂层粉末的材质至少包括高熵合金。激光成形装置，用于对送粉装置提供的涂层粉末进行成形处理，得到零件涂层，零件涂层至少包括致密涂层和形成于致密涂层上的多孔涂层。

与现有技术相比，本发明提供的零件涂层制备装置中，利用高熵合金作为涂层粉末，由于高熵合金中元素组成以及各个元素含量可以调节，因此在不同钝化需求的零件表面制备零件涂层时，选用不同组成成分的高熵合金粉末，得到的对应的高熵合金涂层的耐腐蚀性能更好。并且，由于高熵合金具有抑制扩散的作用，可以抑制腐蚀气体和零件组成元素之间的扩散，从而降低零件和腐蚀气体之间的反应速率，提升零件的化学稳定性，增加激光器的输出性能。

另外，本发明提供的零件涂层制备装置中，零件涂层至少包括致密涂层和形成于致密涂层上的多孔涂层，使得零件表面的声波和激波衰减，提高激光器放电环境的稳定性，从而增加激光器的输出性能。

第二方面，本发明提供一种零件涂层制备方法，应用于具有真空样品室、送粉装置和激光成形装置的零件涂层制备装置。真空样品室内容置有零件。该零件涂层制备方法包括：

控制送粉装置向真空样品室内的零件表面提供涂层粉末。涂层粉末的材质至少包括高熵合金。

控制激光成形装置对送粉装置提供的涂层粉末进行成形处理，得到致密涂层。

控制激光成形装置对送粉装置提供的涂层粉末进行成形处理，得到多孔涂层。

第二方面提供的零件涂层制备方法的有益效果与第一方面或第一方面或任一可能的实现方式描述的零件涂层制备装置的有益效果相同，此处不做赘述。

第三方面，本发明提供一种终端设备。该终端设备包括：处理器以及与处理器耦合的通信接口。处理器用于运行计算机程序，实现第二方面或第二方面任一可能的实现方式描述的零件涂层制备方法。

第三方面提供的终端设备的有益效果与第一方面或第一方面或任一可能的实现方式描述的零件涂层制备装置的有益效果相同，此处不做赘述。

附图说明